一种用于切割蓝宝石硅棒的切片机制造技术

本发明专利技术提供一种用于切割蓝宝石硅棒的切片机，包括：机架，具有工件切割区；第一切割辊；第二切割辊；第三切割辊，设置在第一切割辊与第二切割辊之间，位于第一切割辊与第二切割辊同一水平面的上方，且第三切割辊的轴心与第一、第二切割辊的轴心连线构成一个等边三角形；金刚线，依次缠绕于第一、第二及第三切割辊上，并在第一、第二、与第三切割辊之间形成三段等长的切割线，在金刚线高速运转时，由其中两段等长的切割线同时对两个蓝宝石硅棒进行切割作业。本发明专利技术的切片机可以解决现有技术中因切割辊的设置方式而致使金刚线绕曲度过大易影响切割精准度以及单次仅支持一个蓝宝石硅棒的切割而造成切割工作效率低下的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多线切割技术，特别是涉及一种用于切割蓝宝石硅棒的切片机。
技术介绍
我们知道，发光二极管LED在当今社会中用途十分广泛，例如各种通信设备、仪器仪表及显示面板背光上均用有大量的LED。蓝宝石(Sapphire)作为制作LED的材料在半导体领域具有举足轻重的地位。在形成用于制作LED蓝宝石硅衬底之前，仍需要对蓝宝石硅材料进行前端加工，即将蓝宝石硅棒进行切片的作业。当今对蓝宝石硅棒进行切片加工普遍采用多线切割，多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术。它的原理是通过一根高速运动的钢丝带动附着在钢丝上的切割刃料对蓝宝石硅棒进行摩擦从而达到切割目的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比具有效率高，产能高，精度高，成本低等优点。现有的多线切割设备例如蓝宝石硅棒切片机等通常至少包括有:机架，所述机架上设置有工作台，用于收、放金刚线的贮丝筒(未在图式中予以显示)，多个用于为所述金刚线进行导向的导线轮以及跨设在工作台相对两侧的两个切割辊，所述两个切割锟为水平设置，且在两者之间缠绕的金刚线形成一段切割线，在所述切割线的上方设有送件治具及固定在送件治具上的蓝宝石硅棒。在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于切割蓝宝石硅棒的切片机，其特征在于，包括：机架，具有工件切割区；第一切割辊，设置在所述工件切割区的一侧；第二切割辊，设置在所述工件切割区的另一侧，与所述第一切割辊相对平行且位于同一水平面上；第三切割辊，设置在所述第一切割辊与所述第二切割辊之间，并位于所述第一切割辊与所述第二切割辊同一水平面的上方，且所述第三切割辊的轴心与所述第一、第二切割辊的轴心连线构成一个等边三角形；以及金刚线，依次缠绕于所述第一、第二及第三切割辊上，并在所述第一、第二、与第三切割辊之间形成三段等长的切割线，在所述金刚线高速运转时，由其中两段等长的切割线同时对两个蓝宝石硅棒进行切割作业。

【技术特征摘要】
1.一种用于切割蓝宝石硅棒的切片机，其特征在于，包括: 机架，具有工件切割区； 第一切割辊，设置在所述工件切割区的一侧； 第二切割辊，设置在所述工件切割区的另一侧，与所述第一切割辊相对平行且位于同一水平面上； 第三切割辊，设置在所述第一切割辊与所述第二切割辊之间，并位于所述第一切割辊与所述第二切割辊同一水平面的上方，且所述第三切割辊的轴心与所述第一、第二切割辊的轴心连线构成一个等边三角形；以及 金刚线，依次缠绕于所述第一、第二及第三切割辊上，并在所述第一、第二、与第三切割辊之间形成三段等长的切割线，在所述金刚线高速运转时，由其中两段等长的切割线同时对两个蓝宝石硅棒进行切割作业。2.根据权利要求1所述的用于切割蓝宝石硅棒的切片机，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢建伟，
申请(专利权)人：上海日进机床有限公司，
类型：发明
国别省市：