线锯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了线锯装置。线锯装置用于对工件进行锯切，并且线锯装置的特征在于包括：用于支撑壳体的主框架，其中，壳体包括彼此分离的第一和第二壳体部分；第一线引导组件，其具有至少两个第一线引导筒，用于引导第一线以形成具有至少一个第一工作区域的至少一个第一线网，第一线引导组件被设置在第一壳体部分中；第二线引导组件，其具有至少两个第二线引导筒，用于引导第二线以形成具有至少一个第二工作区域的至少一个第二线网，第二线引导组件被设置在第二壳体部分中，第一和第二壳体部分适于维持第一和第二线导引组件彼此独立；用于引导第一线的第一线管理单元；以及用于引导第二线的第二线管理单元。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术的实施例涉及线锯装置以及用于操作线锯装置的方法。更具体地，它们涉及具有改善的高等级特性并且用于对硬材料(诸如硅或石英的块)进行切割或锯切的线锯装置，例如，用于切割硅晶片，用于平方体(Squarer)、用于裁剪器等。
技术介绍
存在一种线锯装置，其用于从一件硬的或脆的材料(诸如硅)切割出方块或砖块、薄的切片(例如半导体晶片)。在这种装置中，绷紧的线被从线轴馈送出来并且由用于在切割区域中对线进行引导的滑轮引导和张紧。用于进行锯切的线主要设置有研磨剂材料。作为一种选择，可以作为浆料提供研磨剂材料。这可以在线与被切割的材料接触之前的短期内实现。因此，通过用于对材料进行切割的线来将研磨剂承载到切割位置。作为另一种选·择，研磨剂可以被设置在具有涂层的线上。例如，金刚石颗粒可以被设置在例如具有涂层的金属线上，其中，金刚石颗粒被镶嵌在线的涂层中。由此，将研磨剂牢固地与线连接。一般而言，线锯装置的产量已经处于极为先进的水平。然而，特别是考虑到期望在对于光电(PV)应用具有高生产率下的高产量时，期望进一步进行改善。由此，已经考虑了用于锯切PV晶片等的线被张紧并且以非常高的速度移动。线在提供了线管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线锯装置，其用于对工件进行锯切，并且所述线锯装置的特征在于包括：用于支撑壳体的主框架，其中，所述壳体包括第一壳体部分和与所述第一壳体部分分离的第二壳体部分；以及第一线引导组件(120)，其具有至少两个第一线引导筒(122)，所述至少两个第一线引导筒(122)用于引导第一线(20)，以形成具有至少一个第一工作区域(22)的至少一个第一线网，其中，所述第一线引导组件被容纳在所述第一壳体部分中；第二线引导组件(120)，其具有至少两个第二线引导筒(122)，所述至少两个第二线引导筒(122)用于引导第二线(20)，以形成具有至少一个第二工作区域(22)的至少一个第二线网，其中，所述第二线引导组件...

【技术特征摘要】
2011.10.27 EP 11186936.81.一种线锯装置，其用于对工件进行锯切，并且所述线锯装置的特征在于包括 用于支撑壳体的主框架,其中，所述壳体包括第一壳体部分和与所述第一壳体部分分离的第二壳体部分；以及 第一线引导组件(120)，其具有至少两个第一线引导筒(122)，所述至少两个第一线引导筒(122)用于引导第一线(20)，以形成具有至少一个第一工作区域(22)的至少一个第一线网，其中，所述第一线弓I导组件被容纳在所述第一壳体部分中； 第二线引导组件(120)，其具有至少两个第二线引导筒(122)，所述至少两个第二线引导筒(122)用于引导第二线(20)，以形成具有至少一个第二工作区域(22)的至少一个第二线网，其中，所述第二线弓I导组件被容纳在所述第二壳体部分中； 用于引导所述第一线的第一线管理单元；以及 用于引导所述第二线的第二线管理单元。2.根据权利要求I所述的线锯装置，还包括 第一浆料或冷却流体分配系统，其用于将浆料或冷却流体分配到所述第一线引导组件；以及 第二浆料或冷却流体分配系统，其用于将浆料或冷却流体分配到所述第二线引导组件。3.根据权利要求2所述的线锯装置，还包括 第一浆料或冷却流体罐，其用于将浆料或冷却流体提供给所述第一浆料或冷却流体分配系统；以及 第二浆料或冷却流体罐，其用于将浆料或冷却流体提供给所述第二浆料或冷却流体分配系统。4.根据权利要求I所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗兰克·基诺赛奥，安德烈亚斯·施密特，
申请(专利权)人：应用材料瑞士股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：