线锯制造技术

本实用新型专利技术涉及线锯，描述了用线10来锯切工件50的线锯1。线锯包括至少一个传感器80，其被定位为在锯切所述工件50的过程中检测在所述工件50内的线部分210的位置。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术的实施例涉及用于锯切工件的线锯、和在用线锯来切割工件的过程中检测在工件内的线部分的装置，该线锯包括构造成检测在工件内的线部分的至少一个传感器。
技术介绍
线锯用于切割工件，例如，使用线锯切割硅工件，以进行分段、开方和切片。线锯还用于切割其他材料。可以在线锯中使用不同类型的线，例如，与浆液中的碳化硅颗粒结合使用的线、和 通常与冷却剂结合使用的金刚石线。通常，硬质材料(例如，碳化硅或金刚石)对工件进行研磨以进行切割。在切割过程中，线沿着其长度(水平地)快速移动，工件通过工件供应板在切割方向上相对慢速地移动，该切割方向基本正交于(垂直于)快速线移动的方向。因此，线对于工件的垂直力沿着切割方向施加，工件对于线的反作用力引起线在与切割方向相反的方向上变形或弯曲。根据包括对弯曲的估计的几何考虑，可以对垂直力进行估计，垂直力通常被认为是线张力的垂直分量的两倍。不论估计垂直力和/或弯曲的方式如何，垂直力有助于能告知对工作台速度和切割速度的调节，从而使生产率最大化，并使线的磨损和破损最小化。线锯切的另外的问题是在工件内存在夹杂物，这需要调节工作台速度和切割速度以使生产率最大化、和/或防止线的磨本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线锯(1)，其用线(10)来锯切工件(50)，所述线锯(1)包括：至少一个传感器(80)，其被定位为在锯切所述工件(50)的过程中检测在所述工件(50)内的线部分(210)的位置。

【技术特征摘要】
2011.10.20 EP 11185991.41.一种线锯(1)，其用线(10)来锯切工件(50)，所述线锯(I)包括 至少一个传感器(80)，其被定位为在锯切所述工件(50)的过程中检测在所述工件(50)内的线部分(210)的位置。2.根据权利要求I所述的线锯(1)，其中 所述至少一个传感器(80)是超声传感器和红外传感器中的至少一种。3.根据权利要求I所述的线锯(1)，其中 所述线锯(I)是开方机或切片机。4.根据权利要求I所述的线锯(1)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：菲利普·那斯卡，
申请(专利权)人：应用材料瑞士股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：