纳米复合金刚石线锯切割液制造技术

本发明专利技术公开了一种纳米复合金刚石线锯切割液，以重量百分比计，其制备原料包括：极压剂1～5%，润滑剂10～60%，稳定剂2～10%，消泡剂0.1～2%，防腐剂0.1～5%，纳米添加剂0.05～2%，余量为去离子水；极压剂为硼酸酯类极压剂；消泡剂为有机硅烷消泡剂；的纳米添加剂为水溶性纳米添加剂。本发明专利技术纳米复合金刚石线锯切割液具有良好的润滑、冷却、清洗性能；所用原料无毒或低毒、环保，符合绿色环保的生产要求；加入了纳米添加剂，该添加剂能够完全溶解到切割液中，在硅锭切割中能在硅锭表面与金刚石线锯之间形成保护层，起到减小摩擦、防止污片或划伤硅片，提高成品率。

【技术实现步骤摘要】
纳米复合金刚石线锯切割液
本专利技术涉及金刚石线锯切割
，具体涉及一种纳米复合金刚石线锯切割液。
技术介绍
近年来，随着晶硅片切割工艺的改进，使用金刚石线锯切割晶硅片的优势越来越来明显，其具有切割效率高、面形精度好和环境清洁等优点，受到越来越多的关注，并有望成为日后的主要切割方式。金刚石线锯切割分为电镀金刚线和树脂金刚线，均是利用钢线外层包有的金刚石与硅片摩擦进行切割，出片率比传统的切割方式高，其切割速度是钢线的2-3倍。由于金刚石线锯切割速度快，钢线与硅棒之间的摩擦剧烈会产生大量的热，如果不及时排除将会影响硅片的质量。因此，在硅棒切割过程中需要用到切割液。切割液作为切割主要耗材之一，其性能直接影响着切割效率、切片质量甚至影响太阳能电池的转化效率，进而影响整个制造过程。目前市场上销售的切割液，其主要成分是水溶性的聚烷氧基化合物，并辅以各种功能的添加剂，其比热容低，对热的分散传导能力不强，且不能对硅片表面进行有效的保护影响硅片的质量。因此，急需一种比热容高、热传导能力强，能够有效保护硅片表面的切割液。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种冷却、传热性能好，且能对硅片表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纳米复合金刚石线锯切割液，其特征在于，以重量百分比计，其制备原料包括：极压剂1～5%，润滑剂10～60%，稳定剂2～10%，消泡剂0.1～2%，防腐剂0.1～5%，纳米添加剂0.05～2%，余量为去离子水；所述极压剂为硼酸酯类极压剂；所述消泡剂为有机硅烷消泡剂；所述的纳米添加剂为水溶性纳米添加剂。

【技术特征摘要】
1.一种纳米复合金刚石线锯切割液，其特征在于，以重量百分比计，其制备原料包括：极压剂1～5%，润滑剂10～60%，稳定剂2～10%，消泡剂0.1～2%，防腐剂0.1～5%，纳米添加剂0.05～2%，余量为去离子水；所述极压剂为硼酸酯类极压剂；所述消泡剂为有机硅烷消泡剂；所述的纳米添加剂为水溶性纳米添加剂。2.根据权利要求1所述的纳米复合金刚石线锯切割液，其特征在于，所述极压剂为三乙醇胺硼酸酯或十六烷基硼酸钙。3.根据权利要求1所述的纳米复合金刚石线锯切割液，其特征在于，所述润滑剂为聚乙二醇、磷酸三乙酯、油酸中的一种或两种及以上的混合物...

【专利技术属性】
技术研发人员：阳辉，张晟卯，辛玲，杨正宏，申君来，孙毅，
申请(专利权)人：河南易成新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：河南,41