下载线锯控制系统和线锯的技术资料

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本公开提供了线锯控制系统和线锯。所提供的线锯控制系统(1)用于操作线锯(100)。线锯适用于切割晶片(302、304、306、306)。线锯控制系统被配置为控制线锯的线(203)的温度,并且包括:温度传感器(20),其用于测量线的温度;以及...
该专利属于应用材料瑞士股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料瑞士股份有限公司授权不得商用。

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