通过采用离子簇源沉积纳米粒子修改原子力显微镜探针制造技术

本发明专利技术涉及一种用于通过采用聚集源沉积纳米粒子形式的材料来覆盖原子力显微镜（AFM）探针的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：E·L·罗曼加西亚，L·马丁内斯奥雷亚纳，M·迪亚斯拉戈斯，Y·胡特尔，
申请(专利权)人：西班牙高等科研理事会，
类型：
国别省市：