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通过采用离子簇源沉积纳米粒子修改原子力显微镜探针制造技术
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下载通过采用离子簇源沉积纳米粒子修改原子力显微镜探针的技术资料
文档序号:8244016
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本发明涉及一种用于通过采用聚集源沉积纳米粒子形式的材料来覆盖原子力显微镜(AFM)探针的方法。...
该专利属于西班牙高等科研理事会所有,仅供学习研究参考,未经过西班牙高等科研理事会授权不得商用。
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