【技术实现步骤摘要】
研磨垫修整器
本专利技术涉及半导体集成电路设备
,尤其涉及一种研磨垫修整器。
技术介绍
随着芯片制造工艺的发展,12寸晶圆、铜互连工艺广泛应用及更大尺寸的晶圆的研发,CMP工艺在整个芯片制造流程的重要性日益提升。但是,因为设备和耗材尺寸的增大,研磨头、研磨垫修整器、研磨液喷嘴的相对距离变得越来越远。目前,普遍使用的研磨液传输系统虽然具有研磨液的喷洒功能,但是无法进行横向摆动,即研磨液始终只能喷在一小部分特定区域,虽然可以通过研磨台面的高速旋转扩散一小部分,但是因为其工艺旋转速度一般可以达到70rpm到90rpm,以及由于研磨头的摆动,使得相当一部分研磨液没有来得及被使用就因为离心力被甩出台面,造成分布不均匀和很大的浪费,从而影响化学机械研磨工艺的控制。而研磨垫修整器在修整的同时需要有高压水来对台面进行冲刷或者研磨液同时喷洒来增加切削率使台面保持一个粗糙度。现有的设计使水或研磨液的来源与修整器分为两个独立的部分,使得为达到一定的切削率就必须使用大量的水或者研磨液,同样会造成很大的浪费。由此可见,研磨和修整过程中研磨液喷洒不均、研磨液浪费、修整不均,是本领域技术人员亟待解决的问题之一。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决上述现有技术存在的问题,提供一种研磨垫修整器,以提高研磨液的利用率和均匀度,从而提高研磨效率。本专利技术的研磨垫修整器包括:修整器摆臂和修整头,该修整器摆臂上或内置固定有液体管路,该液体管路一端连至液体供应源,另一端连至该修整头,且该修整头上具有与液体管路相通并供该液体流出的出液口。其中,修整器摆臂上固定液体管路是指在修整器摆臂结构的外围 ...
【技术保护点】
一种研磨垫修整器,其特征在于:其包括修整器摆臂和修整头,该修整器摆臂上或内置固定有液体管路,该液体管路一端连至液体供应源,另一端连至该修整头,且该修整头上具有与液体管路相通并供该液体流出的出液口。
【技术特征摘要】
1.一种研磨垫修整器,其特征在于:其包括修整器摆臂和修整头,该修整器摆臂上或内置固定有液体管路,该液体管路一端连至液体供应源,另一端连至该修整头,且该修整头上具有与液体管路相通并供该液体流出的出液口;该修整头顶部设有一条或数条凹槽,该凹槽一端通向液体管路,另一端延至修整头边缘,而使液体可以从修整头顶部,沿着该凹槽流下至研磨垫;修整头顶部的凹槽两两相对排布或螺旋形排布。2.根据权利要求1所述的研...
【专利技术属性】
技术研发人员:戴文俊,
申请(专利权)人:上海集成电路研发中心有限公司,
类型:发明
国别省市:
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