一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法技术

本发明专利技术涉及一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制Mg、Zr膜层形成Mg/Zr周期多层膜，然后在周期多层膜上镀制B4C作为保护层。与现有技术相比，本发明专利技术采用熔点高、相态稳定的金属Zr作为多层膜的吸收层，制作出的Mg/Zr极紫外多层膜反射镜克服了Mg/SiC等传统的Mg基多层膜热稳定性差的缺点。同时，在极紫外波段Zr的光学常数合适，Mg/Zr多层膜反射镜保持了Mg基多层膜反射镜优异的光学性能。因此，兼顾了光学性能和热稳定性的Mg/Zr多层膜反射镜，适用于同步辐射光源、空间观测等工作环境温度高的极紫外波段应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于精密光学元件制作领域，尤其是涉及ー种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法。
技术介绍
极紫外天文观测是研究太阳活动、日地环境、长期天气预报的重要手段，通过极紫外天文望远镜对Fe XV(28. 4nm)和He II (30. 4nm)等重要的太阳谱线进行成像,能实时监控太阳的动态及其对地球的影响。另ー方面，极紫外波段存在许多的元素特征谱线，在同步辐射等人造光源中进行元素特征谱线的鉴定是化学分析的重要手段。而在极紫外波段，各种材料均存在吸收且折射率接近I，折射式光学系统不适用，采用多层膜反射镜作为基本元件的近正入射反射系统是最常见的有效的系统。由于Mg的L吸收边在25nm，Mg是25_40nm 波段广泛应用的间隔层材料，现有的Mg/SiC，Mg/Y203和Mg/Co等Mg基多层膜反射镜，实测的近正入射反射率达40%以上，展示出了优异的光学性能。在同步辐射光源和空间太阳观测等应用中，多层膜反射镜长时间在强光的照射下工作，由于光照射而引起反射镜温度上升达几百摄氏度，在这些工作环境中，要求多层膜反射镜能在高温的环境中稳定地工作。然而，Mg化学性质活泼，熔点低(650°C )本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜，其特征在于，该反射镜包括基底(1)，在基底(1)上依次层叠有打底层(2)、Mg/Zr周期多层膜(5)及保护层(6)，其中Mg/Zr周期多层膜(5)由Mg膜(3)和Zr膜(4)周期性交替镀制构成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱京涛，周斯卡，李浩川，王占山，
申请(专利权)人：同济大学，
类型：发明
国别省市：