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本发明涉及一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制Mg、Zr膜层形成Mg/Zr周期多层膜，然后在周期多层膜上镀制B4C作为保护层。与现有技术相比，本发明采用熔点高、相态稳定的金属Zr作为...
该专利属于同济大学所有，仅供学习研究参考，未经过同济大学授权不得商用。

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