【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学测试仪器研究領域,涉及一种立式大量程高精度光学平面测试装置,用于大口径平面镜面形的检测。
技术介绍
对光学成像系统波前的检验是光学系统成像质量检测的重要手段。高分辨率可见光成像侦察相机的光学成像系统口径达到I. Om以上。由于在采用自准法对光学系统波面检测时(光轴水平),需要对立式大口径平面镜面形情况进行复测和监测,而现有方法对光学平面镜的检测需要干涉仪和基准平面镜,目前没有设备可满足对这类大口径光学平面镜测试要求的干涉仪。 如图I所示,干渉仪测试光学成像系统的波相差测试过程是由干涉仪3发出球面光波,球面光波的球心调试到被测试光学成像系统2的像面上,球面光波通过被测试光学成像系统2后转为平面波(平行光),此光束经平面反射镜I反射后,按原路返回,进入被测试光学成像系统2,经被测试光学成像系统2后形成球面波,在其像面上会聚后进入干涉仪3,与干涉仪3的基准光学波面干渉,产生干涉条纹,经过其内部图象采集、测试与计算处理后,给出被测试光学成像系统光学波面相差。采用干渉仪测试平面镜的方法是把需要测试的平面反射镜5对准干涉仪7,经由干涉仪的基准平面镜6发出的 ...
【技术保护点】
立式大量程高精度光学平面测试装置,其特征在于,该装置包括升降支腿(9)、支撑底台(10)、水平转台(11)、配重块(12)、垂直精密转台(13)、连接轴(14)、长导轨承载板(15)、第一反射镜(16)、第二反射镜17)、第一测角装置(18)、第二测角装置(19)、长导轨(20)、电控系统(23)和数据采集分析系统(22),支撑底台(10)固定在升降支腿(9)上,水平转台(11)置于支撑底台(10)上,垂直精密转台(13)置于水平转台(11)上,配重块(12)固定在精密转台(13)的一端,连接轴(14)的一端固定在精密转台(13)的一端,长导轨承载板(15)固定在连接轴(1 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:马冬梅,宋立维,王涛,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:
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