一种PECVD的石英管锁紧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种PECVD的石英管锁紧装置，包括设有卡槽的法兰和套设在石英管上的密封组件，卡槽包括相连通的轴向段和周向段，该装置还包括：套设在石英管上的第一锁件，第一锁件包括连接段和可套设在密封组件上的锁紧段，锁紧段上设有可沿卡槽移动的锁柱；套设在石英管上且能够卡设在第一锁件内被限制沿远离密封组件的方向运动的第二锁件，第二锁件能够与密封组件相抵。通过第一锁件的锁柱伸入到卡槽的周向段，实现与第二锁件相抵的密封组件与法兰的锁紧；在拆卸石英管时，只需要将卡槽内的锁柱旋出即可实现对石英管的拆卸，有效降低了操作人员的劳动强度，同时保证了石英管的完整性，提高了石英管的再利用率，节省了成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池生产
，特别涉及一种PECVD的石英管锁紧装置。
技术介绍
众所周知，太阳能电池在进行光电转换的过程中，除了吸收一部分的太阳光以实现光电转换外，不可避免的会反射一部分阳光，造成了太阳能的浪费，所以为了减少太阳能电池对阳光的反射，在太阳能电池生产过程中，一般会在太阳能电池的表面设置氮化硅减反射膜，以减少太阳能电池对阳光的反射，使其吸收更多的阳光。目前，氮化娃减反射膜米用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition的缩写，等离子体增强化学气相沉积法)在链式PECVD工艺腔室内进行沉积，工艺反应时间(或沉积反应时间)过后，在特气槽和石英管表面会生长一层1_2_的氮化硅层，而氮化硅层会改变石英管的耦合条件和沉积性能，降低其沉积率，导致必须更换新的石英管。为了解决上述问题，现有技术中将锁套和密封组件紧密接触，通过旋转锁套挤压密封组件，密封组件挤压石英管达到密封固定石英管的效果。但是使用一段时间后，石英管和锁紧装置会被氮化硅覆盖，导致无法将石英管完整取下。通常是先将石英管打碎，然后旋转并取下锁紧装置，更换新的石英管，最后用专用工具旋转锁套将其锁紧。但是将石英管打碎再进行拆卸，无疑增加了工作负担，而且影响工人的安全。同时，对于可再利用的石英管造成了浪费，增加了生产成本。因此，如何保证石英管的完整性，以提高石英管的重复利用率，降低劳动强度和生产成本，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种PECVD的石英管锁紧装置，以提高石英管的重复利用率，降低劳动强度和生产成本。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案一种PECVD的石英管锁紧装置，包括设有卡槽的法兰和套设在石英管上的密封组件，所述卡槽包括相连通的轴向段和周向段，该石英管锁紧装置还包括套设在所述石英管上的第一锁件，所述第一锁件包括连接段和可套设在所述密封组件上的锁紧段，所述锁紧段上设有可沿所述卡槽移动的锁柱；套设在所述石英管上且能够卡设在所述第一锁件内被限制沿远离所述密封组件的方向运动的第二锁件，所述第二锁件能够与所述密封组件相抵。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述连接段的内径上设有内卡柱，所述第二锁件的靠近所述第一锁件的一端设有用于限制所述内卡柱沿轴线方向运动的凸台，且所述凸台上设有供所述内卡柱穿过所述凸台的开口。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述内卡柱和所述锁柱的连线与所述石英管的轴线方向平行。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述内卡柱的个数为3个，所述开口的个数为3个，且所述内卡柱和所述开口相对布置。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述内卡柱和所述开口分别均匀分布在所述连接段的内径和所述凸台上。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述凸台的所述开口处设有向远离所述第一锁件的方向延伸的用于限制所述内卡柱沿周向运动的卡头。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述第一锁件的外壁上设有工具定位孔。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述第二锁件远离所述第一锁件的一端设有可与六角扳手配合的六角端。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述连接段的内径大于所述锁紧段的内径。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述第二锁件的外径大于所述锁紧段的内径。从上述的技术方案可以看出，本技术提供了一种PECVD的石英管的锁紧装置，包括设有卡槽的法兰和套设在石英管上的密封组件，卡槽包括相连通的轴向段和周向段，该装置还包括套设在石英管上的第一锁件，且第一锁件包括连接段和可套设在密封组件上的锁紧段，锁紧段上设有可沿卡槽移动的锁柱；套设在石英管上且能够卡设在第一锁件内被限制沿远离密封组件的方向运动的第二锁件，且第二锁件能够与密封组件相抵。锁紧时，操作人员将第二锁件内伸于第一锁件的连接段，移动第一锁件和第二锁件并使锁紧段套设在密封组件上，同时第二锁件与密封组件相抵，实现第二锁件与密封组件的限位 ’然后操作人员旋转第一锁件使锁紧段上的锁柱滑动到法兰的卡槽的周向段内，实现第一锁件与法兰的锁紧，即实现了石英管与法兰的锁紧。该装置在拆卸石英管时，只需要将卡槽内的锁柱旋出即可实现对石英管的拆卸，保证了石英管的完整性，从而有效降低了操作人员的劳动强度，提高了石英管的再利用率，节省了成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本技术实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置的装配图；图2为本技术实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置中的第一锁件的结构示意图；图3为本技术实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置中的第二锁件的结构示意图。具体实施方式本技术提供了一种PECVD的石英管锁紧装置，以提高石英管的重复利用率，降低劳动强度和生产降低成本。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图I-图3，其中，图I为本技术实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置的装配图；图2为本技术实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置中的第一锁件的结构示意图；图3为本技术实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置中的第二锁件的结构示意图。本技术实施例提供了一种PECVD的石英管锁紧装置，包括设有卡槽11的法兰I和套设在石英管5上的密封组件2，且卡槽11包括相连通的轴向段和周向段，为了实现石英管5和法兰I的密封锁紧，还包括套设在石英管5上的第一锁件，第一锁件分为连接段31 和可套设在密封组件2上的锁紧段32，为了使锁紧段32与法兰I相锁紧，在锁紧段32上设置了可沿卡槽11移动的锁柱33。在将石英管5与法兰I相锁紧的时候，锁柱33沿卡槽11的轴向段的入口端进入到卡槽11的沿法兰I周向延伸的周向段，并停在周向段，因此限制了石英管5轴线方向的运动，实现了石英管5轴线方向的限位；在对石英管5拆卸时，只需要旋转第一锁件使锁柱33从卡槽11的周向段内旋出即可。为了使密封组件2与法兰I紧密接触，该石英管锁紧装置还包括套设在石英管5上且能够卡设在第一锁件内被限制沿远离密封组件2的方向运动的第二锁件4，为了实现该装置对石英管5的密封锁紧，在锁紧时，第二锁件4与密封组件2相抵。在对石英管5锁紧时，将第二锁件4内伸于第一锁件的连接段31，而且第一锁件限制第二锁件4沿远离密封组件2的方向运动，将密封组件2内伸于第一锁件的锁紧段32，使得第二锁件4与密封组件2相抵，操作人员将第二锁件4的周向固定，然后旋转第一锁件使锁柱33沿卡槽11的周向段滑动，实现第一锁件的轴线方向锁紧。由于第一锁件通过第二锁件4使密封组件2与法兰I相挤压，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种PECVD的石英管锁紧装置，包括设有卡槽（11）的法兰（1）和套设在石英管（5）上的密封组件（2），所述卡槽（11）包括相连通的轴向段和周向段，其特征在于，该石英管锁紧装置还包括：套设在所述石英管（5）上的第一锁件，所述第一锁件包括连接段（31）和可套设在所述密封组件（2）上的锁紧段（32），所述锁紧段（32）上设有可沿所述卡槽（11）移动的锁柱（33）；套设在所述石英管（5）上且能够卡设在所述第一锁件内被限制沿远离所述密封组件（2）的方向运动的第二锁件（4），所述第二锁件（4）能够与所述密封组件（2）相抵。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙双庆，李海良，史周兴，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：