用于介质阻挡放电等离子体方法的电极技术

一种用于表面的DBD等离子体处理的平面电极，所述平面电极包括提高到高压的金属壳体（8），所述壳体配有工作部分（2），所述工作部分用于布置成平行于待处理表面（27）。该工作部分（2）在外部覆以绝缘材料板（4），所述绝缘材料板由一聚合物层（6）固定于工作部分。工作部分（2）的内表面与金属壳体（8）一起形成热交换器，所述热交换器连接于冷却流体（10）在其中流通的二次冷却回路（34）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种包括电极的装置(或设备)，所述电极用于在用包括介质阻挡放电(DBD)的方法处理和/或制备表面的范围中使用，特别是用于尤其在连续生产的情况下涂覆大块玻璃。本专利技术还涉及该装置中这种电极的制造方法以及这种电极。
技术介绍
用等离子体处理表面特别是在玻璃工业领域中但也在塑料薄膜领域中是公知的。 其在于在至少两个电极之间产生等离子体，在该等离子体中注入前驱物质，使得通过反应和/或电离产生作用于待处理表面的反应物。问题是电极经受非常严峻的工作条件等离子体的高温；注入和/或产生的物质的高反应性；电压、电流和频率条件在电极表面会引起静电力和出现电弧，该静电力和出现电弧可造成电极局部击穿，乃至完全损坏。在电极布置在用于处理大尺寸表面例如大块玻璃的表面的生产线中的情况下，这些问题甚至更为严重。用于减少这些问题的一个公知的方法是，在面对着待处理表面的电极表面上布置一电绝缘层。但是，制造这种复合电极，本身存在一系列不易解决的技术问题。在圆柱形电极的情况下，电介质则可制成套筒的形式，从而在几何学上解决其保持在电极表面上的问题。但是，工作表面沿着圆柱体的母线之一而定，因此非常小，这意味着本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：E·蒂克霍，E·米歇尔，J·勒克莱尔克，
申请(专利权)人：旭硝子欧洲玻璃公司，
类型：
国别省市：