下载用于介质阻挡放电等离子体方法的电极的技术资料

文档序号:8165825

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一种用于表面的DBD等离子体处理的平面电极,所述平面电极包括提高到高压的金属壳体(8),所述壳体配有工作部分(2),所述工作部分用于布置成平行于待处理表面(27)。该工作部分(2)在外部覆以绝缘材料板(4),所述绝缘材料板由一聚合物层(6)...
该专利属于旭硝子欧洲玻璃公司所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子欧洲玻璃公司授权不得商用。

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