有机膜的烧制装置以及具有由该装置烧制的有机膜的有机元件制造方法及图纸

技术编号:8166318 阅读:150 留言:0更新日期:2013-01-08 12:50
在对通过涂敷法形成的有机膜进行烧制的装置中,防止水分向有机膜的侵入,防止因水分造成的有机元件的劣化。烧制装置(3)具备用来投入形成有有机膜的基板(4)的投入部(5)、将基板(4)上的有机膜中含有的溶剂加热除去来对该有机膜进行烧制的烧制部(6)、和用来从烧制部(6)将基板(4)取出的取出部(7)。投入部(5)、烧制部(6)及取出部(7)各自的内部被作为气体环境划分。由此,防止含有水分的溶剂成分从烧制前及烧制中的有机膜向烧制后的有机膜侵入,能够提供高品质、没有缺陷的有机膜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对由涂敷法形成的有机膜进行烧制的装置以及具有由该装置烧制的有机膜的有机元件。
技术介绍
以往,作为具有有机层的有机元件,已知有有机EL元件(有机电致发光元件)及有机太阳能电池。有机EL元件是通过施加电压而向有机层注入电子和空穴(空子)、使注入到有机层中的电子与空穴再结合、在该再结合时使有机层中的发光物质发光的发光元件。有机太阳能电池是通过对有机层照射光而产生空穴和电子、将电カ向外部取出的受光元件。这些有机元件在透光性的基板上依次形成透明电极、多个有机层、及阴极层。在有机元件的形成中,将透明电极通过溅镀法等形成,将透明电极以外的层利用全部通过蒸镀法形成的方法、通过涂敷法及蒸镀法的两方法形成的方法、全部通过涂敷法形成的方法中的某种方法形成。已知有将有机层中的空穴注入层用涂敷法形成在透明电极上、在该空穴注入层之上用蒸镀法形成有其他层的有机EL元件(例如,參照专利文献I)。这样形成的有机EL元件由于空穴注入层被平坦地涂敷、其他层被蒸镀到平坦的空穴注入层之上而平坦地形成,所以发光量被均匀化,防止因电流集中到一部分而造成的耐久性的下降。在有机太阳能电池的形成中也同样,希望将至少I本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:葛冈义和井出伸弘宫川展幸宫井隆雄山本稔川口敬史
申请(专利权)人:松下电器产业株式会社龙云股份有限公司
类型:
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1