有机EL元件的制造方法和制造装置制造方法及图纸

依次配置蒸镀源（60）、多个限制板（81）和蒸镀掩模（70）。使基板相对于蒸镀掩模以隔开一定间隔的状态相对地移动。从蒸镀源的蒸镀源开口（61）放出的蒸镀颗粒（91），通过相邻的限制板之间，并通过在蒸镀掩模形成的掩模开口（71）附着于基板，而形成覆膜（90）。限制板限制向掩模开口入射的蒸镀颗粒的、沿基板的相对移动方向看时的入射角度。由此，在大型的基板也能够以不扩大像素间距、不降低开口率等的方式形成有机EL元件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如能够利用于有机EL (Electro Luminescence :电致发光)显示器等的有机EL元件的制造方法和制造装置。
技术介绍
近年来，不断要求平板面板显示器的大型化、高画质化、低消耗电カ化，能够以低电压驱动且高画质的有机EL显示器受到高度瞩目。例如，在全彩色的有源矩阵方式的有机EL显示器中，在设置有TFT (薄膜晶体管)的基板上设置有薄膜状的有机EL元件。在有机EL元件中，在一对电极之间叠层有包括红色(R)、緑色(G)和蓝色(B)的发光层的有机EL层。在一对电极中的一个电极连接有TFT。而且,通过在ー对电极间施加电压使各发光层发 光来进行图像显示。为了制造有机EL元件，需要以规定的图案形成包括在各种颜色中发光的有机发光材料的发光层。作为以规定图案形成发光层的方法，例如已知有真空蒸镀法、喷镀法、激光转印法。例如在低分子型有机EL显示器(OLED)中，多使用真空蒸镀法。在真空蒸镀法中使用形成有规定图案的开ロ的掩模(也称为荫罩)。使紧密固定有掩模的基板的被蒸镀面与蒸镀源相対。然后，通过使来自蒸镀源的蒸镀颗粒(成膜材料)通过掩模的开ロ蒸镀于被蒸镀面，形成规定图案的薄本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：川户伸一，林信广，园田通，井上智，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：