脆性材料基板刻划方法技术

一种脆性材料基板刻划方法。在沿着互相交叉的刻划预定线进行交叉刻划时，能够稳定地形成刻划槽，而且后面工序中的角部的研磨加工变得容易。该刻划方法是沿着脆性材料基板的互相交叉的刻划预定线进行刻划的方法，包含第1工序和第2工序。在第1工序中，在交叉的刻划预定线的交点处形成贯通基板且具有沿着交叉的刻划预定线延伸的边缘部的贯通孔。在第2工序中，使龟裂以贯通孔为起点沿着刻划预定线发展。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及刻划方法，尤其涉及沿着脆性材料基板的互相交叉的刻划预定线来进行刻划的。
技术介绍
作为用于分割玻璃基板等脆性材料基板的技术，提出了利用了龟裂发展的分割方法。在该方法中，首先，使用刀轮等在玻璃基板的正面形成初始龟裂。然后，从该初始龟裂照射激光光束来加热基板，进而冷却被加热的区域。由此，以初始龟裂作为触发来发展龟裂，沿着刻划预定线形成刻划槽。在专利文献I中公开了这种刻划方法。在专利文献I的方法中，在基板的加工起点形成初始龟裂，然后，沿着刻划预定线扫描椭圆形状的加热点。由此，龟裂沿着刻划预定 线连续地发展。专利文献专利文献I :日本特开2003-137578号公报在专利文献I中有如下记载(0054段)在欲形成初始龟裂时，使高输出的激光光束会聚于基板正面而加工孔，从该孔开始生成龟裂。但是，关于作为初始龟裂的孔没有详细的记载。此外，用于触摸面板的防护玻璃是对I张母基板进行分割而形成的。具体而言，在母基板上设定在Χ、γ方向交叉的多条刻划预定线，沿着该多条刻划预定线形成刻划槽。即，对母基板进行交叉刻划，沿着形成的刻划槽分割而获得多个防护玻璃。通过对分割而得的各个防护玻璃的4个角部进行研磨加工而形成曲线状。但是，将分割后的玻璃的各角部研磨加工成曲线状耗费时间。
技术实现思路
本专利技术的课题在于提供一种刻划方法，该方法尤其在沿着互相交叉的刻划预定线进行交叉刻划时，能够稳定地形成刻划槽，而且后面工序中的角部的研磨加工变得容易。第I专利技术的是沿着脆性材料基板的互相交叉的刻划预定线进行刻划的方法，包含第I工序和第2工序。在第I工序中，在交叉的刻划预定线的交点处形成贯通基板且具有沿着交叉的刻划预定线延伸的4个边缘部的贯通孔。在第2工序中，使龟裂以贯通孔为起点沿着刻划预定线发展。在该方法中，在刻划预定线的交点处形成作为初始龟裂的贯通孔。该贯通孔具有沿着交叉的刻划预定线延伸的4个边缘部。然后，龟裂以贯通孔的各边缘部为起点，沿着刻划预定线发展。此处，贯通孔具有沿着刻划预定线延伸的边缘部，因此在第2工序中易于龟裂沿着刻划预定线发展，能够稳定地形成期望的刻划槽。此外，由于在刻划预定线交叉的地方、即相当于分割后的基板的4个角部的部分形成贯通孔，所以能够在分割后减少4个角部的研磨余量。第2专利技术的是在第I专利技术的方法中，在第I工序中形成的贯通孔是具有圆弧状的4个边部的星型形状，其中，该圆弧状的4个边部形成于相邻的2个边缘部之间，以向孔内部突出的方式弯曲。此处，贯通孔是由4个边缘部以及连接它们的4个边部构成的星型，而且4个边部是以向孔内部突出的方式弯曲的圆弧状。所以，分割后的基板中的4个角部在被分割开的时刻是圆弧状。因此，在分割后的工序中将4个角部研磨加工成曲线状时，能够减少各角部的研磨余量。第3专利技术的是在第I专利技术的方法中，在第I工序中形成的贯通孔是具有直线状的4个边部的矩形形状，其中，该直线状的4个边部形成于相邻的2个边缘部之间。 此处，贯通孔为矩形。因此，虽然不及第2专利技术，但在分割后的工序中将4个角部研磨加工成曲线状时，也能够减少各角部的研磨余量。第4专利技术的是在第I至第3专利技术的任意一个方法中，在第I工序中，使用绿色激光来形成贯通孔。第5专利技术的是在第I至第3专利技术的任意一个方法中，在第2工序中，沿着基板的刻划预定线照射激光进行加热的同时对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展。第6专利技术的是在第4专利技术的方法中，在第2工序中，沿着基板的刻划预定线照射激光进行加热的同时对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展。如以上所述，在本专利技术中，在对脆性材料基板进行交叉刻划时，能够稳定地形成刻划槽，而且后面工序中的角部的研磨加工变得容易。附图说明图I是用于实施本专利技术的一个实施方式的刻划方法的刻划装置的示意结构图。图2是示出触摸面板防护玻璃的以往的加工步骤的图。图3是示出触摸面板防护玻璃的本专利技术的一个实施方式的加工步骤的图。图4是示出贯通孔另一例子的图。图5是示出使用3种贯通孔刻划加工后的龟裂发展(刻划痕)与分割后的刻划的翘曲的放大照片。标号说明I :刻划装置Ila lld，21a 21d :贯通孔的边缘部12a 12d，22a, 22d :贯通孔的边部G :母基板LB:激光光束LS :光束点SL :刻划预定线CP :冷却点H, H’ 贯通孔具体实施例方式图I是示出用于实施本专利技术的一个实施方式的刻划方法的刻划装置的示意结构的图。另外，在图I中，示出第I工序后的样子、即在玻璃基板上形成贯通孔，而正在进行作为第2工序的刻划加工的样子。刻划装置I是用于例如将母玻璃基板分割为用于触摸面板的防护玻璃的多个玻璃基板的装置。关于此处的玻璃基板，主要使用表面形成有强化层的化学强化玻璃。该化 学强化玻璃具有通过离子交换处理而使表面具有压缩应力的强化层。<刻划装置>刻划装置I具有向玻璃基板G照射激光光束的照射部2、冷却部3、及未图示的移动部。冷却部3通过喷嘴4喷射从未图示的制冷剂源供给的制冷剂，形成冷却点CP。移动部使照射部2及冷却部3的喷嘴4沿着设定于玻璃基板G的刻划预定线SL，与玻璃基板G之间进行相对移动。 照射部2具有照射激光光束LB的激光振荡器(例如,CO2激光器)，通过光学系统将该激光光束LB照射在玻璃基板G上形成光束点LS。<贯通孔形成装置>在刻划装置I中设置有贯通孔形成用照射部(未图示)。该贯通孔形成用照射部用于形成作为在玻璃基板G上形成刻划槽时的龟裂发展起点的贯通孔。贯通孔形成用照射部具备例如发射绿色激光的激光振荡器以及光学系统。此处，为了与本专利技术的方法进行比较，使用图2对以往的触摸面板的防护玻璃的加工步骤进行简单地说明。首先，准备母基板(a)，对该母基板G，使用刀轮等在基板端部形成初始龟裂(未图示)。然后，沿着刻划预定线对母基板G进行激光光束照射和扫描，进而冷却形成刻划槽SG (b)。然后，在刻划槽SG的两侧施加分割力，由此母基板G被分割为多个玻璃基板。接着，对分割而得的玻璃基板的角部进行研磨使其成为曲线形状(c、d)。接着，使用图3来说明本专利技术的一个实施方式的加工步骤。首先，在第I工序中，对母基板G (a)，形成多个从基板的正面向背面貫通的贯通孔H (b)。这些贯通孔H例如通过对基板照射绿色激光而形成。各贯通孔H形成在互相垂直的X方向和Y方向(参照图3)的刻划预定线的交点处。此外，从图3 (b)可以明显看出，各贯通孔H是具有沿着刻划预定线延伸的边缘的星型形状。具体而言，如图3中放大所示，各贯通孔H是如下所述的星型形状，该星型形状具有4个边缘部Ila lld，其沿着刻划预定线SL延伸；以及4个圆弧状的边部12a 12d，其形成于相邻的2个边缘部Ila_llb、llb-llc、llc-lld、Ild-Ila之间，以向孔内部突出的方式弯曲。接着在第2工序中，如图I和图3所示，从照射部I照射激光光束LB。该激光光束LB作为光束点LS照射到母基板G上。然后，使从照射部I射出的激光光束LB沿着刻划预定线SL与母基板G相对移动。母基板G被光束点LS加热到比母基板G的软化点低的温度。此外，使冷却点CP追随在光束点LS的移动方向的后方。由此，虽然在通过激光光束LB的照射而被加热的光束点LS的附近产生了压缩应力，但是由于在刚产生本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种沿着脆性材料基板的互相交叉的刻划预定线进行刻划的脆性材料基板刻划方法，其中，所述刻划方法包括：第1工序，在所述交叉的刻划预定线的交点处，形成贯通基板且具有沿着交叉的刻划预定线延伸的4个边缘部的贯通孔；以及第2工序，使龟裂以所述贯通孔为起点沿着刻划预定线发展。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：冈本浩和，山本幸司，福原健司，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：