本发明专利技术是关于一种反转装置，用于反转在纵方向及横方向呈阵列地排列形成有功能区域且除了树脂层以外被裂断的基板。其解决手段为：将基板20保持于端材分离载台15上。端材分离载台15，在臂51上具有腔室52与其上部底板53及弹性板54。臂51呈可以旋转轴55为中心而旋转自如。此外，从所保持的基板上部使扩展载台16接触。然后使端材分离载台15与扩展载台16在同一旋转轴往同方向旋转，借此一边保持基板20一边使其反转。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关于一种使用于反转脆性材料基板的反转装置，该脆性材料基板是在半导体基板、陶瓷基板等脆性材料基板上涂布有树脂层而成。
技术介绍
在专利文献I中，提及有如下的基板裂断装置:借由对形成有刻划线的基板，从形成有刻划线的面的背面，利用裂断杆沿刻划线并与面垂直地按压而进行裂断。在成为裂断对象的基板是半导体晶圆、且呈阵列地形成有多个功能区域的情形，首先在基板以在功能区域间隔着等间隔的方式在纵方向及横方向形成刻划线。在裂断脆性材料基板、取出周围的端材后，为了破断树脂层以完全分离成各晶片，而有必要使基板反转。在专利文献2中，揭示有使用机械臂使脆性材料基板反转的反转机构。在该反转操作中，一旦将已刻划的基板以机械臂配置于架台，借由改从下方支承而进行反转。专利文献1:日本特开2004-39931号公报专利文献2:日本特许第3787489号公报由此可见，上述现有的脆性材料基板的反转装置在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种脆性材料基板的反转装置，它能够在不使脆性材料基板已裂断的任一部分脱落的情况下，达到在维持原状态下反转的目的。在脆性材料基板、例如陶瓷基板上，在制造步骤中沿X轴与y轴以一定间距形成多个功能区域，使用裂断装置对在陶瓷基板上面填充有硅树脂的基板进行裂断，此时沿刻划线仅能将陶瓷基板层分离，硅树脂层仍维持原状态而残留，使用本专利技术提出的反转装置后，即可将几乎分离的基板在即便是一部分也不会脱落的情况下反转并在硅树脂层使刻划伸展。本专利技术的目的是采用以下技术方案来实现的。依据本专利技术提出的一种脆性材料基板的反转装置，是对脆性材料基板进行反转，其中，该脆性材料基板，是在一面具有功能区域的脆性材料基板上涂布有树脂，且在该脆性材料基板形成有刻划线以用于分断该功能区域；该反转装置，具备以下部分:设置成旋转自如的第I载台、以在与该第I载台的旋转轴为相同旋转轴上与该第I载台重合的方式设置成旋转自如的第2载台、以及使该第I载台及该第2载台各自独立地旋转的第1、第2旋转机构；该第I载台，具有借由该第I旋转机构而旋转自如的第I臂、及设置于该第I臂上面的弹性板；该第2载台，具有借由该第2旋转机构而旋转自如的第2臂、及安装于该第2臂的弹性支承板。本专利技术的目的还可采用以下技术措施进一步实现。较佳的，前述的脆性材料基板的反转装置，其中，该反转装置，具有真空吸附装置；该第I载台，具备安装于该第I臂且具有凹部的腔室、及设置于该腔室上且具有多个开口的底板；该弹性板，具有安装于该底板且与该底板的开口对应的开口 ；该臂，在臂内具有与该腔室连通的导管，且与该真空吸附装置连通。较佳的，前述的脆性材料基板的反转装置，其中，该脆性材料基板，是沿着以功能区域位于中心的方式形成格子状的刻划线而裂断；该第2载台的弹性支承板，具有与该脆性材料基板相当的宽度，且具有设置于由该格子状的刻划线所围绕区域的各个中心位置的保护孔。借由上述技术方案，本专利技术脆性材料基板的反转装置至少具有下列优点及有益效果:将脆性材料基板配置于设置在第I载台上的弹性构件上，且配置于具有从其上部包含功能区域的突出部分开口的弹性支承板上，进一步地，使第2载台从上部接触。而且，能够借由利用同轴的旋转机构使上述载台同时往同方向旋转，而使脆性材料基板维持原状态地反转。此时，由于在2个载台之间夹入基板，因此能够获得同样在旋转中基板的任一部分不会脱落的效果。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。【附图说明】图1是表示实现本专利技术实施结构的搬送机构的整体构成的立体图。图2是表示实现本专利技术实施结构的搬送机构的主视图。图3 (a)和(b)是表示由本实施结构的搬送头所搬送基板的一例的主视图及沿A-A线的部分剖视图。图4是表示本专利技术实施结构的搬送头的立体图。图5是本实施结构的搬送头的主视图。图6是本实施结构的搬送头的仰视图。图7是切开本实施结构的搬送头的一部分而表不的立体图。图8是表示使用于本实施结构的搬送装置的集尘机的一例的立体图。图9是表示使用于本实施结构的推板(push plate)的一例的立体图。图10是表示本专利技术基板反转装置实施结构的端材分离载台与扩展载台的侧视图。图11是表示本实施结构的搬送头与端材分离载台、及扩展载台的剖视图。图12是表示本实施结构的搬送头与端材分离载台一部分的剖视图。图13是表示本实施结构的端材分离载台与扩展载台的立体图。图14是表示本实施结构夹入基板并使其旋转状态的立体图。图15是表示本实施结构经旋转后的扩展载台与端材分离载台的侧视图。【主要元件符号说明】10:基座11:梁12:线性滑件13:搬送头14:裂断载台15:端材分离载台16:扩展载台17:扩展机构20:基板21:陶瓷基板22:功能区域23:硅树脂24:线状突起31:吊架基座32:吊架33、34:吊架托架35:线性滑件40:头部41:底板42:弹性片43:导管44:鼓风机46:闩扣机构47:推板48:气缸51:臂52:腔室53:底板54:弹性板55:旋转轴61:臂62:匣63:隔片64:海绵65:扩展橡胶67:保持具【具体实施方式】为更进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本专利技术提出的一种脆性材料基板的反转装置的【具体实施方式】、结构、特征及其功效，详细说明如后。针对本专利技术脆性材料基板的反转装置的实施结构所适用的搬送机构进行说明。图1是表示实现本实施结构搬送装置的整体构成的立体图，图2是其主视图。如上述图式所示，在基座10上，梁11借由支柱而与基座10的上表面保持平行，在此梁11的侧方设置线性滑件12。线性滑件12使搬送头13沿梁11自在地动作。在基座10上，如图1、图2所示，设置有对脆性材料基板(以下，简称基板)进行裂断的裂断载台14、使用于端材分离的第I载台即端材分离载台15、及使用于树脂层分离的第2载台即扩展载台16。当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种脆性材料基板的反转装置，是对脆性材料基板进行反转，其特征在于：该脆性材料基板，是在一面具有功能区域的脆性材料基板上涂布有树脂，且在该脆性材料基板形成有刻划线以用于分断该功能区域；该反转装置，具备以下部分：设置成旋转自如的第1载台、以在与该第1载台的旋转轴为相同旋转轴上与该第1载台重合的方式设置成旋转自如的第2载台、以及使该第1载台及该第2载台各自独立地旋转的第1、第2旋转机构；该第1载台，具有借由该第1旋转机构而旋转自如的第1臂、及设置于该第1臂上面的弹性板；该第2载台，具有借由该第2旋转机构而旋转自如的第2臂、及安装于该第2臂的弹性支承板。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：太田欣也，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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