下载脆性材料基板刻划方法的技术资料

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一种脆性材料基板刻划方法。在沿着互相交叉的刻划预定线进行交叉刻划时,能够稳定地形成刻划槽,而且后面工序中的角部的研磨加工变得容易。该刻划方法是沿着脆性材料基板的互相交叉的刻划预定线进行刻划的方法,包含第1工序和第2工序。在第1工序中,在交叉...
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