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脆性材料基板刻划方法技术
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文档序号:8156454
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一种脆性材料基板刻划方法。在沿着互相交叉的刻划预定线进行交叉刻划时,能够稳定地形成刻划槽,而且后面工序中的角部的研磨加工变得容易。该刻划方法是沿着脆性材料基板的互相交叉的刻划预定线进行刻划的方法,包含第1工序和第2工序。在第1工序中,在交叉...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。
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