【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉,尤其涉及一种带有死角循环冷却的单晶炉,主要用于生产单晶。
技术介绍
随着单晶技术的不断提高和市场对单晶的尺寸要求加大,生产单晶的容器(坩埚)也要加大,这样对单晶炉内堂空间也要进行改进。目前最大的单晶炉直径在650cm,以前的坩埚直径却在120cm左右,而现在的坩埚直径根据单晶炉的直径增大而增大到150cm左右,这样一来电源的功率也随之加大,由于电源功能加大之后,炉内死角部分和顶部温度很高,一般在90°以上,严重危害单晶炉生产寿命
技术实现思路
为了克服上述现有技术的缺陷,本技术提供了一种能将炉内死角部分和顶部分的温度快速下降、能提高单晶炉的使用寿命的一种带有死角循环冷却的单晶炉。本技术所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现一种带有死角循环冷却的单晶炉,包括炉体,其特征在于所述的炉体开有一安装不锈钢门的门框,炉体顶端内部与炉体侧面内部的拐角处设有一循环冷却水槽。所述不锈钢门与门框之间设有循环冷却水槽,所述循环冷却水槽的长度与不锈钢门的高度一致。所述炉体采用双层不锈钢钢板制成,其中间部分则形成一个循环冷却水槽。本技术的有益效果是能将炉内死角部分和顶部分的温度快速下降、能提高单晶炉的使用寿命。附图说明图I为本技术结构示意图;图2为本技术炉体顶部的循环冷却水槽结构放大图;图3为本技术循环冷却水槽的剖面结构示意图;图4为本技术不锈钢门与门框侧面结构放大图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本技术。如图1-4所示,一种带有死角循环冷却的单晶炉,炉体I开有一安装不锈钢门2的门框3 ...
【技术保护点】
一种带有死角循环冷却的单晶炉,包括炉体,其特征在于:所述的炉体开有一安装不锈钢门的门框,炉体顶端内部与炉体侧面内部的拐角处设有一循环冷却水槽。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:万文,
申请(专利权)人:安徽环巢光电科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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