【技术实现步骤摘要】
本技术涉及ー种源瓶,尤其涉及一种太阳能电池扩散用源瓶。
技术介绍
常规扩散炉在采用P0C13 (三氯氧磷)扩散制PN结时,由于生产过程中源量的不断消耗而使源量液位降低,气体携帯P0C13的能力降低。常规源瓶结构刚开始的液位为100mm,结束时的液位为20mm,液位落差(比值)=100/20=5,对扩散方块电阻的影响为8-12 Ω/ □;对于这种情况,一般通过频繁的エ艺修改或调整等手段将扩散方块电阻控制在制程以内;因此,这为エ艺的稳定、エ艺配方的修改或保存及调用带来麻烦,容易产生管理和控制混乱,造成エ艺监瞀不利或エ艺的错误调用,为生产带来极大损失。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种能够避免エ艺的重复修改或调整,使生产制程更加稳定可靠的太阳能电池扩散用源瓶。为了解决上述技术问题,本技术是通过以下技术方案实现的ー种太阳能电池扩散用源瓶,包括由耐高温玻璃熔融而成的外瓶,外瓶顶部设置有贯通其内外的进气ロ和出气ロ,所述位于外瓶内的进气ロ末端设置有玻璃导管,所述外瓶内设置有隔层,玻璃导管串通隔层底部。为了提高源量利用率,进ー步地,所述隔层至少有三个。为了提高整个系 ...
【技术保护点】
一种太阳能电池扩散用源瓶,包括由耐高温玻璃熔融而成的外瓶(1),外瓶(1)顶部设置有贯通其内外的进气口(2)和出气口(3),所述位于外瓶(1)内的进气口(2)末端设置有玻璃导管(4),其特征在于:所述外瓶(1)内设置有隔层(5),玻璃导管(4)串通隔层(5)底部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:钱小锋,刘志敏,闻明,
申请(专利权)人:南京远景新能源有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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