【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶体硅太阳能电池生产加工领域，具体是一种用于晶体硅太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管。
技术介绍
在晶体硅太阳能电池生产工艺中，目前所普遍采用的是P0CL3液态源扩散制作PN结，其原理如图I所示。在扩散过程中，工艺气体通过一个罩杯从炉尾进入炉内，然后通过尾气管从炉口抽出。利用该方法进行扩散，工艺简单，成本较低，因而成为目前晶体硅太阳能电池生产制作PN结的主要方法。但由于硅片之间的距离很近，该种方法使得进入到硅片中心区域的工艺气体明显少于硅片边缘区域，使得硅片中心区域的方块电阻明显高于硅片边缘，从而使均匀性变差。为了获得较好的片内均匀性，通常采用的方法是将石英舟上下梁 的卡槽错开一定距离，使硅片在炉内有一个偏向炉尾方向的倾斜。这样，从炉尾方向进来的工艺气体就更容易进入到硅片中心区域，从而使均匀性得到改善。但是，由于从炉尾进入的工艺气体温度较低，工艺气体在进入炉内之后首先会下沉，经加热之后再上升分散进入硅片中心区域，这样使得炉尾及中尾区域的均匀性受到一定的影响。
技术实现思路
本技术提供了一种用于晶体硅太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管，解决了以往工艺气体进入...
【技术保护点】
用于晶体硅太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管，其特征在于：包括进气管本体（1）以及套接在进气管本体（1）上的罩杯（2），所述进气管本体（1）的一端为开口，进气管本体（1）的另一端密封，且进气管本体（1）的密封端设有一个出气孔（3），进气管本体（1）的外部设有填充层（4）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：袁泽锐，赵太平，夏伟，程曦，包崇彬，李质磊，盛雯婷，张凤鸣，
申请(专利权)人：天威新能源控股有限公司，保定天威集团有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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