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本实用新型公开了用于晶体硅太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管，包括进气管本体（1）以及套接在进气管本体（1）上的罩杯（2），进气管本体（1）的一端为开口，进气管本体（1）的另一端密封，且进气管本体（1）的密封端设有一个出气孔（3），进气管...该专利属于天威新能源控股有限公司;保定天威集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天威新能源控股有限公司;保定天威集团有限公司授权不得商用。