蒸镀用沟槽掩模板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蒸镀用沟槽掩模板，形状为四边形金属板，包括与铟锡氧化物面接触的ITO面和蒸镀面两个面，所述掩模板上具有贯通ITO面和蒸镀面的开口，在ITO面上的开口为网格状，在蒸镀面上的开口为沟槽状，所述槽状开口之间相互间隔且相互平行；ITO面上的开口面积小于在蒸镀面上的开口面积。掩模板具有大开口设计的一定厚度的蒸镀面，保证在不影响蒸镀的情况下，对掩模板进行了加厚稳固的作用；扩大了荫罩的厚度范围，避免由于荫罩过薄导致的板面变形，提高了荫罩使用寿命，取得了较好的技术效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及OLED制造过程中所需的蒸镀用沟槽掩模板。
技术介绍
—般地，OLED器件为一种发射显不器件,其通过电激发突光有机化合物发光。依据可以排列为矩阵的NXM像素的驱动方式，OLED器件可以看作无源矩阵OLED (PMOLED)器件或有源矩阵OLED (AMOLED)器件。AMOLED器件与PMOLED器件相比，由于其低功耗和高分辨率，适合于大尺寸显示器。依据光从有机化合物发出的方向，OLED器件可为顶发射OLED器件、底发射OLED器件或顶和底发射OLED器件。顶发射OLED器件在与设置有像素的衬底的相反方向上发光且与底发射OLED不同,其具有高开口率(Aperture ratio)。 对于既包含用于主要显示窗口的顶发射型又包含用于次要窗口的底发射型OLED器件的需求正在增长，因为此器件可以被小型化且其消耗很少的功率。这样的OLED器件可以主要用于包括外部次要显示窗口和内部主要显示窗口的移动电话。次要显示窗口消耗的功率少于主要显示窗口，且当移动电话处于呼叫等待状态时它可以保持开的状态，从而允许在任何时候观察接收状态、电池余量、时间等。有机电致发光二极管(Organic Lig本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀用沟槽掩模板，形状为四边形金属板，其特征在于，包括ITO面和蒸镀面两个面，所述掩模板上具有贯通ITO面和蒸镀面的开口，在ITO面上的开口为网格状，在蒸镀面上的开口为沟槽状，所述槽状开口之间相互间隔且相互平行；？ITO面上的开口面积小于在蒸镀面上的开口面积。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：魏志凌，高小平，郑庆靓，
申请(专利权)人：昆山允升吉光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：