镀膜承载架制造技术

一种镀膜承载架，其包括基座、载盘及翻转组件。所述基座包括外框及转动设置在所述外框上的圆盘状的内框。所述外框上开设第一通孔。所述内框容置在所述第一通孔内，且与所述第一通孔同轴设置。所述载盘通过所述翻转组件可翻转地设置在所述内框上。所述载盘上开设多个用于承载待镀件的承载通孔。所述翻转组件包括两个翻转马达及两个与对应的翻转马达相耦合的转轴。所述两个翻转马达固定在所述内框上，用于驱动对应的转轴转动。所述两个转轴相对设置，且位于同一直线上。每个转轴的相对两端分别固定在对应的翻转马达及所述载盘上。本发明专利技术的镀膜承载架，利用所述翻转组件能自动对待镀件进行翻面，无需打开真空腔就可对待镀件进行双面镀膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种镀膜承载架。
技术介绍
现有的真空镀膜设备中，一次仅能对待镀件的一面进行镀膜，若需对待镀件进行双面镀膜，则必须将真空腔打开，利用人工对承载着待镀件的承载部进行翻面。这样会存在以下缺点第一，需进行两次抽真空的动作，比较耗费时间；第二，蒸镀时真空腔内的温度极高，因此人工翻面时，必须等到真空腔冷却后才可打开真空腔，将承载部取出，翻面后再将其放入真空腔内，延长了镀膜的加工时间；第三，要将真空腔打开两次，无法保持真空腔内的环境参数完全一致，导致待镀件两面的膜层特征不一致；第四，打开真空腔时，会造成待镀件的清洁度下降，进而影响待镀件良率。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种可使待镀件自动翻面进行双面镀膜的镀膜承载架。一种镀膜承载架，其包括基座、载盘及翻转组件。所述基座包括外框及转动设置在所述外框上的圆盘状的内框。所述外框上开设第一通孔。所述内框容置在所述第一通孔内，且与所述第一通孔同轴设置。所述载盘通过所述翻转组件可翻转地设置在所述内框上。所述载盘上开设多个用于承载待镀件的承载通孔。所述翻转组件包括两个翻转马达及两个与对应的翻转马达相耦合的转轴。所述两个翻转马达固定在所述内本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜承载架，其包括一个基座、一个载盘及一个翻转组件，所述基座包括一个外框及一个转动设置在所述外框上的圆盘状的内框；所述外框上开设一个第一通孔，所述内框容置在所述第一通孔内，且与所述第一通孔同轴设置；所述载盘通过所述翻转组件可翻转地设置在所述内框上；所述载盘上开设多个用于承载待镀件的承载通孔；所述翻转组件包括两个翻转马达及两个与对应的翻转马达相耦合的转轴；所述两个翻转马达固定在所述内框上，用于驱动对应的转轴进行转动；所述两个转轴相对设置，且位于同一直线上；每转轴的相对两端分别固定在对应的翻转马达及所述载盘上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：裴绍凯，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：