【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种PDMS弹性体表面硬质薄膜层选区刻蚀的制备方法，包括以下步骤：（1）将PDMS预聚体与交联剂按10:1混合，倒入一容器中，用玻璃棒匀速搅拌0.5？1小时，形成预聚合物；（2）若混合好的预聚合物中有小气泡，则通过循环水式多用真空泵脱气2小时；（3）将脱气后的预聚合物放入恒温鼓风干燥箱中，并在60摄氏度下固化6个小时，即得到PDMS膜；（4）将PDMS膜裁剪为1cm×1cm片材，在该PDMS膜片材的表面放置一层铜网，用等离子体清洗器进行等离子体处理10分钟，取下铜网，由此形成PDMS为基底、SiOx硬质层为表层的PDMS双层复合膜，（5）将PDMS双层复合膜浸泡于摩尔浓度为2mol/L至5mol/L的氢氟酸溶液中处理5？40分钟；（6）用蒸馏水冲洗PDMS双层复合膜，并置于空气中晾干，从而，PDMS双层复合膜表面上形成有微结构的选区刻蚀图案。
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。