【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。
技术介绍
蓝宝石硬度高、熔点高、透光性好，化学性能稳定，广泛应用于机械、光学、信息等高
人工生长的蓝宝石具有很好的耐磨性，硬度仅次于金刚石达到莫氏9级。由于蓝宝石硬度高而且脆性大，故对其进行机械加工非常困难，尤其是GaN生长的蓝宝石衬底片，其精密加工技术更是复杂，是当今重点研究的课题之一。蓝宝石衬底晶片是LED产业链的核心环节，以往这种产品的制造技术都被国外公司垄断，其关键技术和专利多掌握在美、日大厂手中，为迅速切入该领域，国内企业大多只能以“加工模式”与外资合作，购买外资提供的技术和设备后组织生产。 目前国内蓝宝石衬底的加工工艺在批量生产中出现这样的不足之处加工过程中蓝宝石片崩边、缺口比例较高，占总数的59^8%，这样就影响整个蓝宝石衬底加工流水线的成品率。蓝宝石晶片加工工艺中含有倒角工序，倒角的目的是①避免边缘崩裂防止晶格缺陷的产生增加外延层及光阻层的平坦度。I、避免边缘崩裂 蓝宝石晶片在加工和使用过程中会受到片盒或机械等工具的撞击，蓝宝石晶片边缘会产生应力集中而导致破裂，破裂的颗粒会形成污染。2、防止晶格缺陷的产生 蓝宝石晶片...
【技术保护点】
一种蓝宝石晶片倒角设备，其特征在于所述倒角设备包括金刚石砂轮系统，由位置固定的主轴带动旋转的金刚石砂轮，用于蓝宝石晶片的倒角磨削，真空承片台，通过吸盘吸附规律排列的蓝宝石晶片，并通过电缸滑座带动移动至金刚石砂轮系统进行倒角磨削。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐洁，孙勤，吴云才，陈益军，
申请(专利权)人：浙江上城科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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