一种可加工非标硅片的倒角机制造技术

技术编号:8407452 阅读:240 留言:0更新日期:2013-03-13 23:17
本发明专利技术提供一种可加工非标硅片的倒角机,包括规正系统,所述规正系统包括送片臂,所述送片臂的一头设有圆形吸片头,所述吸片头配有两个拱形的规正夹板,每个所述规正夹板的两端各设有一个条形定位块,所述定位块的一端通过轴固定在所述规正夹板上,所述定位块可根据实际加工需要调节角度,所述定位块的另一端设有定位轮。本发明专利技术的有益效果是在保持设备原有加工能力的条件下,增加非标硅片加工能力,从而提高该型设备生产加工能力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种倒角机,尤其是涉及一种可加工非标硅片的倒角机
技术介绍
硅片的加工一般都需要用倒角设备,随着非标硅片应用广泛的不断增加,需要现有倒角机具备一定的加工非标硅片的能力,D37-378/YL型国产倒角机主要用于半导体硅片的边缘处理,能自动化实现精确加工倒角,但存在不具备加工直径低于73_非标硅片能力的技术问题
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是提供一种可加工非标硅片的倒角机。为解决上述技术问题,本专利技术采用的技术方案是一种可加工非标硅片的倒角机,包括规正系统,所述规正系统包括送片臂,所述送片臂的一头设有圆形吸片头,所述吸片头配有两个拱形的规正夹板,每个所述规正夹板的两端各设有一个条形定位块,所述定位块的一端通过轴固定在所述规正夹板上,所述定位块可根据实际加工需要调节角度,所述定位块的另一端设有定位轮。其中,所述吸片头直径为35mm。该倒角机还包括加工系统,所述加工系统包括工作台,所述工作台上设有用于夹持工件的上夹片和下夹片,所述上夹片呈圆柱体形,所述下夹片由第一圆柱体和第二圆柱体上下拼接而成,所述第一圆柱体的直径小于第二圆柱体。其中,所述上夹片直径为35mm、高为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可加工非标硅片的倒角机,其特征在于:包括规正系统,所述规正系统包括送片臂,所述送片臂的一头设有圆形吸片头,所述吸片头配有两个拱形的规正夹板,每个所述规正夹板的两端各设有一个条形定位块,所述定位块的一端通过轴固定在所述规正夹板上,所述定位块可根据实际加工需要调节角度,所述定位块的另一端设有定位轮。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:雷海云张雪囡耿辉古元甲郭红慧邢玉军
申请(专利权)人:天津市环欧半导体材料技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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