蓝宝石单晶长方体窗口多面抛光批量加工的加工工艺制造技术

蓝宝石单晶长方体窗口多面抛光批量加工的加工工艺，是采用双面研磨抛光设备对窗口工件进行研磨抛光加工。工件把蓝宝石六面体窗口，放置在游星轮卡具中，先对大面进行研磨，使用环氧树脂材料卡具，W40碳化硼进行粗磨，W7碳化硼进行细磨；之后按照规格对工件进行分组粘接，对粘接后工件的四个端面进行粗磨和细磨；研磨之后，使用二氧化硅抛光液（粒径80-100nm，PH值10-11）对粘接后的端面进行抛光；抛光后对工件进行拆分，并对抛光后的单个工件的四个端面使用透明胶带进行保护，然后对窗口工件的大面进行抛光。此工艺对类似的六面体窗口的多面抛光进行批量加工，生产效率高，产品一致性好，质量优良并且各个工艺环节及质量参数可控。抛光后的工件表面粗糙度小于0.3nm，平行度小于10秒，光洁度最优可达40-20。

【技术实现步骤摘要】

蓝宝石单晶长方体窗口多面抛光批量加工的加工工艺是针对蓝宝石单晶材料长方体窗口工件进行批量加工的工艺流程及加工方法。
技术介绍
蓝宝石单晶材料在现代的光学及半导体行业中应用广泛。它具有许多优良的特性，如硬度高、熔点高、透光性好、热传导和电绝缘性优良、化学性能稳定等在诸多的窗口中，选材时越来越青睐于蓝宝石材料。但是由于蓝宝石单晶材料本身的硬度极高(莫氏硬度9)加工起来难度较大，特别是长方体或异性窗口材料一直是加工的大难题，要得到优异的外形指标和表面质量难上加难。已有的加工工艺通过使用四轴机配合卡具的应用对工件进行加工，加工时间很长，并且无法实现工件的批量加工。
技术实现思路
本专利技术的目的就是使用双面研磨抛光设备通过卡具的配合和工艺工序的编排，解决长方体窗口材料多面加工难度大、成本高、速度慢等问题，实现高效、批量的加工目标，可大大降低生产成本，提供一种蓝宝石单晶长方体窗口多面抛光批量加工的加工工艺。本专利技术蓝宝石单晶长方体窗口多面抛光批量加工的加工工艺，是以蓝宝石单晶长方体窗口为工件； 第一步 对工件各个棱边进行保护性倒角，将工件放置在游星式卡具中，使用双面研磨机对工件两对称大面进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石单晶长方体窗口多面抛光批量加工的加工工艺，是以蓝宝石单晶长方体窗口为工件；第一步：？？？？对工件各个棱边进行保护性倒角，将工件放置在游星式卡具中，使用双面研磨机对工件两对称大面进行粗磨；粗磨过程中，使用W40碳化硼磨料，重量浓度30~35wt%，用水调和；第二步：将粗磨后的工件使用超声波清洗，将清洗后的工件放入游星卡具中，使用双面研磨机对对大面进行细磨加工；细磨过程中，使用W7碳化硼磨料，重量浓度30~35wt%，用水调和，加入0.01~0.02wt%的六片磷酸钠对磨料进行分散；第三步：？？？？对细磨后的工件尺寸进行测量，将尺寸相近的工件凑成一组，在加热平台用蜡粘接相邻工件的大面将每...

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石单晶长方体窗口多面抛光批量加工的加工工艺，是以蓝宝石单晶长方体窗口为工件； 第一步 对工件各个棱边进行保护性倒角，将工件放置在游星式卡具中，使用双面研磨机对工件两对称大面进行粗磨；粗磨过程中，使用W40碳化硼磨料，重量浓度3(T35wt%，用水调和； 第二步 将粗磨后的工件使用超声波清洗，将清洗后的工件放入游星卡具中，使用双面研磨机对对大面进行细磨加工；细磨过程中，使用W7碳化硼磨料，重量浓度3(T35wt%，用水调和，加入0. oro. 02wt%的六片磷酸钠对磨料进行分散； 第三步 对细磨后的工件尺寸进行测量，将尺寸相近的工件凑成一组，在加热平台用蜡粘接相邻工件的大面将每组工件粘接成一体，构成工件组，增大加工端面的受力面积； 第四步 把粘接好的工件组放置在游星式卡具中，使用双面研磨机对工件工件组的四个端面进行粗磨；粗磨过程中，使用W40碳化硼磨料，重量浓度3(T35wt%，用水调和； 第五步 粗磨后，对工件组进行超声的清洗，将清洗后的工件组放入游星卡具中，使用双面研磨机对工件组的四个端面进...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑琛，王晨宇，
申请(专利权)人：大连淡宁实业发展有限公司，
类型：发明
国别省市：