【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种，该方法在采用至少一个金属的靶的情况下利用在气体氛围中的阴极溅射通过给基体的表面涂覆以摩擦学上有效的滑动层来制造滑动轴承元件，本专利技术还涉及一种金属的滑动轴承元件，所述滑动轴承元件具有轴承元件体，所述轴承元件体具有支承元件并带有圆柱形的空腔，所述空腔具有内表面和内直径，其中在轴承元件体的内表面上设置金属的滑动层。
技术介绍
滑动层通过阴极溅射在用于滑动轴承的基体上的沉积在现有技术上是已知的。与轴承元件的其他制造方法相比，阴极溅射较为昂贵，一方面是由于设备上的费用，另一方面是由于较长的生产节拍。因此阴极溅射目前为止还只用于制造具有高承载能力的滑动层。通常在阴极溅射中，基体作用阳极接入，而靶作为阴极接入。在进行涂层的腔室内通常存在残余气体。在阳极和阴极之间施加电压，由此电子被朝阳极加速。这里电子与气体原子碰 撞并使气体分子电离/离子化。这种带正电荷的、离子化的气体原子然后被朝阴极加速，并且从阴极中撞击出原子，即靶。除了靶的中性的原子以外，此外还释放出次级电子，所述次级电子使其他气体原子离子化。这里在两个电极之间形成稳态的等离子体。靶的被撞击出来的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.11.05 AT A1749/20091.一种用于制造滑动轴承元件(I)的方法，该方法在气体氛围中利用阴极溅射并在采用至少一个金属的靶(16)的情况下通过给基体的表面(5)涂覆以摩擦学上有效的滑动层(6)来制造滑动轴承元件，其特征在于，采用具有圆柱形空腔(3)的基体，靶(16)至少部分地设置在空腔(3)中，此外通过第三电极(26)辅助或维持用于靶(16)的雾化的放电。2.根据权利要求I所述方法，其特征在于，采用热阴极作为第三电极(26)。3.根据权利要求I或2所述的方法，其特征在于，作为靶(16)采用合金，所述合金在200° C的温度下开始熔化或者在该温度下熔化。4.根据权利要求I至3之一所述的方法，其特征在于，作为靶(16)采用合金，所述合金包含选自包括Al、Cu、Ag、Sn、Bi、Sb的组的元素作为主合金元素。5.根据权利要求I至4之一所述的方法，其特征在于，采用具有选自5mm至55mm的范围的最大直径的祀(16)。6.根据权利要求I至5之一所述的方法，其特征在于，待涂层的基体表面到靶表面的距离最小为5mm。7.根据权利要求I至6之一所述的方法，其特征在于，在基体的表面(5)上产生摩擦学上有效的层之前，通过逆转的阴极溅射在采用惰性气体的情况下对所述表面(5)进行清洁。8...
【专利技术属性】
技术研发人员：W·格特纳，
申请(专利权)人：米巴·格来特来格有限公司，
类型：发明
国别省市：
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