本发明专利技术的课题在于容易地调整涂布液所流通的狭槽的宽度。在与头部件（１１Ａ）中的划出狭槽（１６）的侧面（１２）相反一侧的侧面（１７）上形成备有一对壁面（２２、２２）的凹部（２０），该对壁面朝向沿着涂布液的流通方向即狭槽（１６）的延伸方向的方向，且相互对置。在该凹部（２０）内设有调整组件（３０），该组件通过增大沿着狭槽（１６）的延伸方向的方向上的长度，使头部件（１１Ａ）变形，以增大一对壁面（２２、２２）彼此间的距离从而能够调整狭槽（１６）的宽度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于相对被涂布物来涂布涂布液的涂布装置及安装在该涂布装置上的涂布工具。
技术介绍
在现有技术下，作为涂布工具，有的已被公知例如具有由一对头部件构成的涂布头，并划出有在一对头部件中相互对置的侧面彼此之间供给涂布液的兜；从该兜向前端一侧延伸并在涂布头的前端开口的槽状的狭槽。这样的涂布工具将涂布头的前端与被涂布物对置地配置，并且以涂布头的长度方向(狭槽的长度方向)与被涂布物的宽度方向一致的方式安装在涂布装置上，通过供给泵而从涂布液箱供给到兜内的涂布液在狭槽内流通并从涂布头的前端排出，由此将涂布液涂布在相对于该涂布头的前端相对移动的被涂布物的表面上。然而，上述这样的涂布装置不仅用于对具有挠性的片状被涂布物的表面来涂布涂布液，而且也用于相对于被涂布物的表面来涂布彩色抗蚀剂等的涂布液，所述被涂布物是作为例如液晶显示器的面板主体的玻璃基板之类的面板状的被涂布物，但无论任一种形式，都强烈要求涂布在被涂布物的表面上的涂布液的膜厚均匀。即，在现有技术的涂布装置中，特别是在涂布开始时，例如起因于向兜内供给涂布液时的供给口的位置等，而使在狭槽内流通并从涂布头的前端排出的涂布液的流量，在沿着该狭槽长度方向的方向的大致整个长度上不能保持大致一定，所以产生了涂布在被涂布物的表面上的涂布液的膜厚不均匀的问题。与之相对，在专利文献1中，公开了以下的涂布工具用于推压构成了涂布头的一个头部件的前端部的推杆及调整螺栓以沿着狭槽的长度方向配置多个的方式设置，通过拧入调整螺栓，与该调整螺栓的前端接触的推杆利用其前端，朝向狭槽的开口部一侧局部地推压头部件的前端部并使之变形，从而能够调整狭槽的宽度。通过调整该狭槽的宽度，使得在狭槽内流通并从涂布头的前端排出的涂布液的流量，在沿着狭槽长度方向的方向的大致整个长度上保持大致一定，而力图使涂布在被涂布物的表面上的涂布液的膜厚均匀。专利文献1特开平6-23821号公报(图1)可是，由于有必要使从涂布头的前端排出的涂布液的流量在沿着狭槽长度方向的方向上不产生局部地变化地来调整在沿着狭槽长度方向的方向的规定区域中的狭槽的宽度，所以如专利文献1所公开的涂布工具那样，成为用推杆的前端来局部地推压头部件的前端部的构成时，必须分别拧入设于与上述的规定区域相对应的范围内的多个调整螺栓，并用多个推杆的各前端来推压头部件的前端部。因此，多个推杆所得的头部件的推压状态相互干涉，在推杆的前端与头部件的前端部之间易于产生非接触部位，有必要反复调整多次，以将狭槽的宽度调整到所希望的值，产生了作业时间变长的问题。此外，因为通过拧入调整螺栓来直接地推压头部件的前端部，调整狭槽的宽度，所以该狭槽的宽度的调整量(狭槽的宽度变化的行动)依赖于调整螺栓的阳螺纹部上切出的螺纹牙的节距，而难于进行例如精密级的微细调整。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题而提出，其目的在于提供一种能够容易地调整涂布液所流通的狭槽的宽度的涂布工具及涂布装置。为了解决上述课题，达到这样的目的，本专利技术的涂布工具，具有由多个头部件构成的涂布头，在前述多个头部件中的相互对置的侧面彼此之间划出于前述涂布头的前端开口的槽状狭槽，涂布液在前述狭槽内流通并从前述涂布头的前端排出，其特征在于在与前述头部件中的划出前述狭槽的侧面相反一侧的侧面上形成备有一对壁面的凹部，所述壁面朝向沿着前述涂布液的流通方向即前述狭槽的延伸方向的方向，且相互对置。在该凹部内设有调整组件，通过增大沿着前述狭槽的延伸方向的方向上的长度，使前述头部件变形以增大前述一对壁面彼此间的距离，从而能够调整前述狭槽的宽度。此外，本专利技术的涂布装置，其特征在于以将前述涂布头的前端与被涂布物对置配置的方式安装，通过从前述涂布头的前端排出涂布液，涂布液涂布在相对于前述涂布头的前端相对移动的前述被涂布物上。在这样的本专利技术中，使用设于凹部内的调整组件，该凹部形成于头部件的侧面，使头部件变形，以使该凹部中的一对壁面彼此之间的距离变大，由此能够调整划出于多个头部件中的相互对置的侧面彼此之间的狭槽的宽度。又，对于调整的狭槽的宽度，不仅设定成遍及沿着该狭槽的长度方向的方向的大致全长而大致一定，而且也能够设定为例如在某一规定区域按照意图而变大或变小。使用这样的调整组件时，根据需要，适当确定调整组件中的沿着狭槽的长度方向的方向上的长度，由此使头部件变形时的推压部分不会局部地动作，即使在调整规定区域中的狭槽的宽度时，也没有必要如现有技术使用调整螺栓时那样进行反复多次的调整，能够容易地调整狭槽的宽度。在这里，用于调整前述狭槽的宽度的前述调整组件优选地构成为在其内部形成流体压力室，通过压缩该流体压力室内所填充的流体而产生的流体压力，增大沿着前述狭槽的延伸方向的方向上的长度；或者在其内部备有楔形部件，利用使所述楔形部件移动而产生的推压力，增大沿着前述狭槽的延伸方向的方向上的长度。当这样构成时，因为利用流体压力或楔形部件的推压力，以非常缓慢的变化趋势来增大调整组件中沿着狭槽的延伸方向的方向上的长度，所以利用该调整组件而被调整的狭槽的宽度的变化的行动是非常缓慢的，能够进行例如精密级的微细的宽度调整。进而，若前述凹部以在沿着前述狭槽的长度方向的方向上延伸的方式形成，前述调整组件能够向沿着前述狭槽的长度方向的方向上的任意位置移动并固定，则能够将该调整组件移动并固定在沿着狭槽的长度方向的方向上的任意位置，调整与该任意位置对应的区域中的狭槽的宽度。根据本专利技术，使用设于凹部内的调整组件，该凹部形成于头部件的侧面上，使头部件变形，以使该凹部中的一对壁面彼此之间的距离变大，由此能够调整在多个头部件的相互对置的侧面彼此之间所划出的狭槽的宽度。根据需要，适当确定调整组件中的沿着狭槽的长度方向的方向上的长度，由此使头部件变形时的推压部分不会局部地动作，即使在调整规定区域的狭槽的宽度时，也没有必要象使用了现有技术的调整螺栓那样进行反复多次的调整，而能够容易地调整狭槽的宽度。附图说明图1是表示根据本专利技术的第一实施方式的涂布工具的侧视图。图2是图1中A-A线剖视图。图3是表示根据本专利技术的第一实施方式的涂布工具的主要部分放大侧视图。图4是表示根据本专利技术的第一实施方式的涂布工具的主要部分放大剖视图。图5是表示根据本专利技术的第二实施方式的涂布工具的主要部分放大侧视图。图6是表示根据本专利技术的第二实施方式的涂布工具的主要部分放大剖视图。具体实施例方式以下，一边参照附图，一边说明本专利技术的实施方式。如图1及图2所示，根据本专利技术的第一实施方式的涂布工具的涂布头10通过使一对头部件11A、11B组合成它们的一个侧面12、12彼此相互对置，由此呈纵长状地构成。此外，构成涂布头10的一对头部件11A、11B通过使它们的彼此后端侧(图1及图2中的下方一侧)部分在沿着涂布头10的长度方向(图1中的左右方向)的方向上以规定间隔由多个螺栓13...进行螺栓固定，并且相对于位于沿着涂布头10的长度方向的方向的两端的两端面，分别安装侧板14、14，从而相互固定。将构成涂布头10的一个头部件11A(图2中，位于右侧的头部件11A)中的一个侧面12的大致整个面做成大致平坦面，与之相对，构成涂布头10的另一个头部件11B(图2中，位于左侧的头部件11B)中的一个侧面12具有凹槽12A，该凹槽12A以在沿着本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种涂布工具，具有由多个头部件构成的涂布头，在前述多个头部件中的相互对置的侧面彼此之间划出于前述涂布头的前端上开口的槽状的狭槽，涂布液在前述狭槽内流通并从前述涂布头的前端排出，其特征在于：在与前述头部件中的划出前述狭槽的侧面相反一侧 的侧面上，形成备有一对壁面的凹部，所述壁面朝向沿着前述涂布液的流通方向即前述狭槽的延伸方向的方向，且相互对置，在该凹部内设有调整组件，该组件通过增大沿着前述狭槽的延伸方向的方向上的长度使前述头部件变形，以增大前述一对壁面彼此间的距离 ，从而能够调整前述狭槽的宽度。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：安竹睦美，高桥和彦，挂桥典之，金山利彦，福田努，
申请(专利权)人：三菱综合材料株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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