使用背光照明照射干涉式调制器的系统及方法技术方案

技术编号:7616744 阅读:206 留言:0更新日期:2012-07-28 15:25
一种使用背光照明照射干涉式调制器的系统及方法。本发明专利技术揭示一种空间光调制器及制造一空间光调制器的方法。空间光调制器包括:一光调制阵列,其包含复数个光调制元件,所述复数个光调制元件中每一光调制元件均具有第一及第二光学表面之间的光学谐振空腔;位于所述光调制阵列中的光学孔径区域;及至少一个反射元件,其配置成接收穿过所述光学孔径区域的光并将所述所接收的光的至少一部分反射至至少一个所述光学谐振空腔,所述至少一个反射元件具有一倾斜表面。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:克拉伦斯·徐董明孝
申请(专利权)人:高通MEMS科技公司
类型:发明
国别省市:

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