波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。标准具包括第一基板；与第一基板相对的第二基板；在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的固定反射镜；设置于第二基板上并介由反射镜间间隙与固定反射镜相对的可动反射镜；以及在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的第一电极；并且具有第一电极的一部分与固定反射镜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。

【技术实现步骤摘要】
波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置
本专利技术涉及波长可变干涉滤波器、具备该波长可变干涉滤波器的光模块以及具备该光模块的光分析装置。
技术介绍
现有技术中已知在一对基板的彼此相对的表面上以既定间隙分别相向配置有反射膜的可变干涉装置(波长可变干涉滤波器)(例如参照专利文献1)。在专利文献1记载的波长可变干涉滤波器中，为了调整间隙，在一对反射膜的彼此相对的表面上相向地配置电极，可以通过向各电极施加驱动电压，利用静电引力调整间隙。由此，波长可变干涉滤波器能仅透射对应于该间隙的特定波长的光。即，波长可变干涉滤波器对入射光在一对反射膜间使光发生多重干涉，从而仅透射因多重干涉而彼此增强的特定波长的光。专利文献1：特开平1-94312号公报
技术实现思路
然而，在这样的波长可变干涉滤波器的制造工序中，在将基板彼此接合的工序中，反射膜之间可能彼此粘附。另外，可能在调整间隙时反射膜之间出现彼此粘附、或因施加外力时的冲击而在反射膜之间出现彼此粘附。由于一旦发生上述的反射膜之间的粘附，则会损坏反射膜的表面，因而反射膜的光学特性(透射率、反射率)下降。因此，为了防止反射膜之间的粘附，可以考虑在反射膜的附近本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.01.24 JP 2011-0121991.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板彼此相对；第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上；第二反射膜，设置在所述第二基板上、与所述第一反射膜隔开既定间隙而相对；以及第一电极，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上，并且具有所述第一电极的一部分与所述第一反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部，所述第一层叠阻止部被配置为环绕所述第一反射膜的外周边缘。2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第二电极，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的表面上，并且具有所述第二电极的一部分与所述第二反射膜的外周边缘的至少一部分层叠而成的第二层叠阻止部。3.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述第二基板上设置有与所述第一电极相对的第二电极，所述第一电极和所述第二电极是通过被施加电压而改变所述间隙的尺寸的驱动电极。4.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述第二基板上设置有与所述第一电极相对的第二电极，所述第一电极和所述第二电极是测定保持在所述第一电极和所述第二电极之间的静电电容的静电电容测定用电极。5.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一电极是去除所述第一反射膜的电荷的电荷去除用电极。6.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一层叠阻止部中所述第一反射膜和所述第一电极从所述第一基板侧依次层叠。7.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一层叠阻止部中所述第一电极和所述第一反射膜从所述第一基板侧依次层叠。8.根据权利要求2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一电极用非透光性材料形成，在从所述第一基板和第二基板的基板厚度方向看的俯视图中，所述第一层叠阻止部被设置为限定从...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐野朗，松野靖史，北原浩司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：