波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块、光分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块、光分析装置，该波长可变干涉滤波器包括：第一基板，具有固定镜；第二基板，与第一基板接合，包括可动部和固定在可动部上的可动镜；第三基板，在与第一基板相反的一侧上与第二基板接合；以及静电致动器，使可动部沿基板相对方向移位，其中，形成有使第一基板和第二基板之间的出射侧空间以及第二基板和第三基板之间的入射侧空间与外部连通的贯通孔，贯通孔被密封材料密封，以将各空间密闭为减压状态。

【技术实现步骤摘要】
波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块、光分析装置
本专利技术涉及从入射光选择期望的目标波长并使其出射的波长可变干涉滤波器、具有该波长可变干涉滤波器的光模块、具有该光模块的光分析装置以及上述波长可变干涉滤波器的制造方法。
技术介绍
目前已知一种分光滤波器，其通过使光在一对反射镜间反射、使特定波长的光透射、使其他波长的光通过干涉相互抵消，从而从入射光获取特定波长的光。另外，作为这种分光滤波器，已知一种通过调整镜间距离来选择出射的光并使其出射的波长可变干涉滤波器(例如参照专利文献1)。专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器具有：形成在SOI(SilicononInsulator)基板上的固定镜；具有贯通孔并与固定镜相向配置的可动镜。该波长可变干涉滤波器通过可动镜的贯通孔来缓和伴随驱动时的空气压缩而产生的空气阻力，进而抑制可动镜的振动。现有技术文献专利文献专利文献1日本专利特开2007-299008号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在专利文献1所记载的波长可变干涉滤波器中，容纳可动部的内部空间是大气压气氛，在驱动时，可动镜就会受到空气阻力。因此，存在由于空气阻力而不能够充分地确保可动镜的响应性这样的问题。本专利技术的目的在于提供一种能够提高可动镜的响应性的波长可变干涉滤波器、光模块、光分析装置以及波长可变干涉滤波器的制造方法。用于解决问题的手段本专利技术的波长可变干涉滤波器，其特征在于，包括：第一基板，具有透光性；透光性的第二基板，与所述第一基板的一面相向，并与所述第一基板接合；透光性的第三基板，与所述第二基板的设置有所述第一基板一侧的相反一侧相向，并与所述第二基板接合；可动部，设置在所述第二基板上，具有与所述第一基板相向的可动面；连结保持部，设置在所述第二基板上，保持所述可动部以使其能够沿基板厚度方向移动；一对镜，在所述可动部的所述可动面上和所述第一基板的所述第二基板侧的面上隔着预定的镜间间隙而相向配置；以及静电致动器，在所述第一基板和所述第二基板的彼此相向的面上具有彼此相向的一对移位用电极，通过向这些移位用电极施加预定的电压，利用静电引力而使所述可动部沿所述基板厚度方向移位，其中，在所述第一基板与所述第二基板、所述第二基板与所述第三基板之间，分别通过环状的接合层接合，且具有被所述第一基板与所述第二基板夹持的第一内部空间以及被所述第二基板与所述第三基板夹持的第二内部空间，并形成有使所述第一内部空间和所述第二内部空间与外部连通的贯通孔，所述贯通孔用将所述第一内部空间和所述第二内部空间密闭为从大气压减压的状态的密封材料进行密封。在该专利技术中，形成使得被第一基板与第二基板夹持的第一内部空间以及被第二基板与第三基板夹持的第二内部空间与外部连通的贯通孔，并用密封材料密封贯通孔而将各内部空间密闭为减压状态。在该情况下，通过将贯通孔与真空泵连接而抽取各内部空间的空气等，能够将内部空间变为从大气压减压的状态，因而能够在基板接合后将各内部空间密封在减压状态下。因此，设置有镜子的可动部被配置在减压状态的内部空间内，因而能够防止在驱动时空气阻力作用于可动镜。因而，能够提高可动镜的响应性，进而能够充分地确保可动镜的响应性。另外，由于能够在大气压气氛下进行基板的接合，因而能够采用使用了等离子体聚合膜或者金属膜等的接合方法，能够确保各基板间的接合质量。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选地，所述贯通孔包括：第一贯通孔，形成在所述第一基板上，连通所述第一内部空间与基板外部；以及第二贯通孔，形成在所述第二基板上，连通所述第一内部空间与所述第二内部空间，并且所述第一贯通孔由所述密封材料密封。在该专利技术中，由于与第一内部空间连通的第一贯通孔形成在第一基板上，连通第一内部空间与第二内部空间的第二贯通孔形成在第二基板上，因而通过从第一贯通孔抽取空气，就能够将各内部空间变为从大气压减压的状态。因此，通过仅仅密封第一贯通孔，就能够将各内部空间密封在减压状态下，因而密封材料的数量或者用量可以很少。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选地，所述贯通孔包括：第一贯通孔，形成在所述第一基板上，连通所述第一内部空间与基板外部；以及第三贯通孔，形成在所述第三基板上，连通所述第二内部空间与基板外部，并且所述第一贯通孔和所述第三贯通孔由所述密封材料密封。在该专利技术中，由于与第一内部空间连通的第一贯通孔形成在第一基板上，与第二内部空间连通的第三贯通孔形成在第三基板上，因而能够分别独立地抽取各内部空间的空气。因此，能够缩短将各内部空间变为减压状态的时间，进而能够提高波长可变干涉滤波器的制造效率。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选地，所述一对移位用电极包括设置在所述第一基板上的第一移位用电极和设置在所述第二基板上的第二移位用电极，在所述第一基板上，形成有贯通所述第一基板并与所述第一移位用电极连接的第一贯通电极和贯通所述第一基板的第二贯通电极，在所述第一基板或者所述第二基板的面向所述第一内部空间的面上，设置有连接所述第二贯通电极与所述第二移位用电极的凸块电极。在该专利技术中，第一贯通电极和第二贯通电极形成在第一基板上。而且，第一贯通电极与第一移位用电极连接，凸块电极连接第二贯通电极与第二移位用电极。因此，能够确保从波长可变干涉滤波器的外部向第一和第二移位用电极的导通。另外，由于将这些电极集中形成在第一基板一侧，因而能够简化用于连接各电极的配线，进而能够容易地进行各电极向基板的安装。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，所述密封材料优选由粘合剂、低熔点玻璃或者低熔点金属构成。在该专利技术中，内部空间密封用的密封材料由粘合剂、低熔点玻璃或者低熔点金属构成。因此，能够减少在密封时传递至波长可变干涉滤波器的热量，能够防止在密封处理中镜、静电致动器、接合层等的热劣化。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选地，在所述第一基板上形成与所述一对移位用电极连接的贯通电极以及用于形成所述贯通电极而贯通所述第一基板的电极形成孔，所述电极形成孔兼用作所述贯通孔，所述贯通电极兼用作所述密封材料。在该专利技术中，用于形成与移位用电极连接的贯通电极的电极形成孔兼用作形成在第一基板上的贯通孔，贯通电极兼用作密封材料。根据这种构造，由于能够通过形成贯通电极而密封各内部空间，因而能够同时进行与移位用电极导通的贯通电极的形成和内部空间在减压状态下的密封。因此，能够简化波长可变干涉滤波器的制造工艺，能够提高波长可变干涉滤波器的制造效率。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选地，在所述第三基板上，形成反射或者吸收特定范围外的波长的光的光学膜。在该专利技术中，由于反射或者吸收特定范围外的波长的光的光学膜形成在第三基板上，因而在光向第三基板上入射时，能够除去特定范围外的波长的光。也就是说，使光学膜具有作为带通滤波器的功能。因此，没有必要另外设置带通滤波器，进而能够削减波长可变干涉滤波器的部件件数。因而，能够谋求波长可变干涉滤波器的小型化或者低成本化。本专利技术的光模块，其特征在于，包括：上述波长可变干涉滤波器；以及接收透射过所述波长可变干涉滤波器的检查对象光的光接收单元。在该专利技术中，与上述的专利技术同样，由于能够提高波长可变干涉滤波器的可动镜的响应性，因而能够快速地接收检查对象光。另外，由于能够在大气压气氛下进行基板的接合，因而能够采用使用了等离子体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.02.09 JP 2011-0261461.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，包括：第一基板，具有透光性；透光性的第二基板，与所述第一基板的一面相向，并与所述第一基板接合；透光性的第三基板，与所述第二基板的设置有所述第一基板一侧的相反一侧相向，并与所述第二基板接合；可动部，设置在所述第二基板上，具有与所述第一基板相向的可动面；连结保持部，设置在所述第二基板上，保持所述可动部以使其能够沿第二基板厚度方向移动；一对镜，在所述可动部的所述可动面和所述第一基板的位于所述第二基板一侧的面上隔着预定的镜间间隙而相向配置；以及静电致动器，在所述第一基板和所述第二基板的彼此相向的面上分别具有彼此相向的一对移位用电极，通过向这些移位用电极施加预定的电压，利用静电引力而使所述可动部沿所述第二基板厚度方向移位，其中，所述第一基板与所述第二基板、所述第二基板与所述第三基板之间分别由环状的接合层接合，所述波长可变干涉滤波器具有被所述第一基板与所述第二基板夹持的第一内部空间以及被所述第二基板与所述第三基板夹持的第二内部空间，并形成有使所述第一内部空间和所述第二内部空间与外部连通的贯通孔，所述贯通孔被密封材料密封，以将所述第一内部空间和所述第二内部空间密闭为从大气压减压的状态，所述可动部被配置在均为减压状态的所述第一内部空间和所述第二内部空间之间，在所述第一基板上，形成有与所述一对移位用电极连接的贯通电极和用于形成所述贯通电极而贯通所述第一基板的电极形成孔，所述电极形成孔兼用作所述贯通孔，所述贯通电极兼用作所述密封材料。2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述贯通孔包括：第一贯通孔，形成在所述第一基板上，连通所述第一内部空间与基板外部，所述第一贯通孔被所述密封材料密封，所述波长可变干涉滤波器包括：第二贯通孔，形成在所述第二基板上，连通所述第一内部空间与所述第二内部空间。3.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述贯通孔包括：第一贯通孔，形成在所述第一基板上，连通所述第一内部空间与基板外部，所述第一贯通孔被所述密封材料密封，所述波长可变干涉滤波器包括：第三贯通孔，形成在所述第三基板上，连通所述第二内部空间与基板外部，所述第三贯通孔被所述密封材料密封。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述一对移位用电极包括设置在所述第一基板上的第一移位用电极和设置在所述第二基板上的第二移位用电极，在所述第一基板上，形成有贯通所述第一基板并与所述第一移位用电极连接的第一贯通电极和贯通所述第一基板的第二贯通电极，在所述第一基板或所述第二基板的面对所述第一内部空间的面上，设置有连接所述第二贯通电极与所述第二移位用电极的凸块电极。5.根据权利要求1至3中任意一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述密封材料由粘合剂、低熔点玻璃或低熔点金属构成。6.根据权利要求1至3中任意一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述第三基板上，形成有反射或者吸收特定范围外的波长的光的光学膜。7.一种光模块，其特征在于，包括：根据权利要求1至...

【专利技术属性】
技术研发人员：荒川克治，广久保望，小松洋，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：