本发明专利技术的分光模块中，以比衍射层(6)厚的方式，沿着衍射层(6)的周缘(6a)一体形成凸缘部(7)，且在透镜部(3)的曲面(3a)中与凸缘部(7)接触的部分为粗糙面。由此，由与曲面(3a)的粘着性高的凸缘部(7)包围衍射层(6)。因此，即使将衍射层(6)薄型化，也可防止衍射层(6)从透镜部(3)的凸状曲面(3a)剥离。而且，该分光模块中，在凸缘部(7)中与透镜部(3)的曲面(3a)相对的后表面(7a)成为平坦面。由此，即使光入射至凸缘部(7)内，该光也会到达凸缘部(7)的平坦面即后表面(7a)。因此，可减少作为杂散光直接成像于光检测元件的光检测部的光。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及将光分光检测的分光模块。
技术介绍
作为现有的分光模块，已知有具备透过从一侧入射的光的主体部；在主体部的另一侧，将入射至主体部的光分光且向主体部的一侧反射的分光部；及在主体部的一侧，检测由分光部分光的光的光检测元件(例如，参照专利文献1、2)。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开平4494223号公报专利文献2 日本国际公开第2008/149939号手册
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在上述的分光模块中，为谋求小型化而发展分光部的微细化，另一方面，期望减少于主体内部产生的杂散光等，提高检测精度。因此，本专利技术鉴于如此的问题而完成，其目的在于提供一种可靠性高的分光模块。解决问题的技术手段为达成上述的目的，本专利技术的分光模块的特征为具备使从一侧入射的光透过的主体部；设置于在主体部的另一侧形成的凸状的曲面上、将入射至主体部的光分光且反射至主体部的一侧的分光部；及配置于主体部的一侧、检测由分光部分光的光的光检测元件，且分光部包含以沿着曲面的方式形成的衍射层；以比衍射层厚的方式，沿着衍射层的周缘一体形成的凸缘部；及形成于衍射层的另一侧的反射层，曲面中至少与凸缘部接触的部分为使光散射的粗糙面，凸缘部中与曲面相对的面为平坦面。在该分光模块中，以比衍射层厚的方式，沿着衍射层的周缘一体形成有凸缘部，且曲面中与凸缘部接触的部分为粗糙面。由此，因为由与曲面的粘着性高的凸缘部包围衍射层，故即使将衍射层薄型化，也可防止衍射层从主体部的凸状曲面剥离。而且，在该分光模块中，凸缘部中与曲面相对的面为平坦面。由此，即使由于粗糙面的凹凸被凸缘部填埋，使得光不在粗糙面上散射而入射至凸缘部内，该光也会到达凸缘部的平坦面，故可减少作为杂散光直接成像于光检测元件的光。因此，可提高分光模块的可靠性。在本专利技术的分光模块中，优选为曲面中与衍射层接触且与衍射层的衍射光栅图案相对的部分，与曲面中与凸缘部接触的部分相比，为平滑的面。根据该结构，由于抑制主体部的凸状曲面与衍射层的衍射光栅图案之间产生空隙，故可防止相对于衍射光栅图案进行往返的应测定的光的散射等。因此可提高分光模块的检测精度。在本专利技术的分光模块中，优选凸缘部中与曲面相对的面为使光散射的粗糙面。根据该结构，由于入射至凸缘部内的光在凸缘部的平坦面(一部分或全部设为粗糙面的平坦面)散射，故可切实减少作为杂散光直接成像于光检测元件的光。专利技术的效果根据本专利技术，可提供一种可靠性高的分光模块。 附图说明图1为本专利技术的分光模块的一实施方式的平面图；图2为沿着图1的II-II线的剖面图；图3为图1的分光模块的透镜部的立体图；图4为图1的分光模块的分光部的剖面图；图5为图1的分光模块的分光部的底面图；图6为本专利技术的分光模块的其它实施方式的分光部的剖面图。具体实施例方式以下，参照图式，详细说明本专利技术的优选实施方式。此外，在各图中，对相同或相当部分附注相同的符号，并省略重复的说明。如图1、2所示，分光模块1具备有使光Ll透过的基板(主体部)2及透镜部(主体部)3 ；设置于透镜部3的曲面3a上的分光部4 ；及配置于基板的前表面加上的光检测元件5。分光模块1将光Ll由分光部4分光成多束光L2，并由光检测元件5检测该光L2，由此测定光Ll的波长分布或特定波长成份的强度等。基板2由BK7、PyreX (注册商标)、石英等的光透过性玻璃、或光透过性铸模玻璃或光透过性塑料等，形成为长方形板状。透镜部3由与基板2相同的材料、光透过性树脂、光透过性的无机·有机混合材料、或模造品成形用的光透过性低熔点玻璃等，形成为半球状。 更具体而言，如图3所示，透镜部3为以大致垂直于前表面北且相互大致平行的2个平面， 切断具有曲面3a及前表面北的半球状透镜而成为形成有侧面3c的形状。由设于曲面3a 上的分光部4分光的光L2成像于光检测元件5的光检测部fe。如图1、2所示，基板2的后表面2b与透镜部3的前表面北在使基板2的长边方向与透镜部3的侧面3c大致平行的状态下，利用光学树脂或直接接合(Direct Bonding)予以接合。由此，基板2及透镜部3可使从前侧(主体部的一侧)入射的光Ll透过。另外， 分光部4设置于在基板2及透镜部3的后侧(主体部的另一侧)形成的凸状的曲面3a上， 且光检测元件5配置于基板2及透镜部3的前侧。分光部4作为反射型光栅而构成，将入射至基板2及透镜部3的光Ll分光，且将经分光的光L2反射至前侧。更具体而言，如图4、5所示，分光部4包含以沿着曲面3a的方式形成的衍射层6 ；以比衍射层6厚的方式，沿着衍射层6的周缘6a —体形成的凸缘部 7 ；及形成于衍射层6的外侧(后侧)表面上的反射层8。在衍射层6形成有衍射光栅图案9。衍射光栅图案9为例如锯齿状剖面的闪耀光栅(blazed grating)、矩形状剖面的二元光栅、正弦波状剖面的全息光栅等，且沿着基板2 的长边方向并设多个槽而构成。衍射层6从后侧观察时形成为圆形状，凸缘部7从后侧观察时形成为圆环状。且， 形成有衍射光栅图案9的区域G从后侧观察时，沿着基板2的长边方向为长条状的形状。此夕卜，反射层8从后侧观察时形成为圆形状，且包含于形成有衍射光栅图案9的区域G内。此夕卜，也可在衍射层6的外侧(后侧)表面，以从后侧观察时包含且覆盖反射层8的方式，形成钝化膜等的保护层。作为参考，各部分尺寸的一例如下所示。首先，衍射层6外径为2mm 10mm、厚度为1 μ m 20 μ m，凸缘部7宽度为0. 1匪 1mm、厚度为10 μ m 500 μ m。另夕卜，反射层8 外径为Imm 7mm、厚度为IOnm 2000nm。而且，形成有衍射光栅图案9的区域G —边的长度为1· 5mm 8mmο如图1、2所示，光检测元件5包含有检测由分光部4所分光的光L2的光检测部 5a。光检测部fe被构成为长条状的发光二极管在大致垂直于其长边方向的方向排列成1 维。光检测元件5以发光二极管的1维排列方向与基板2的长边方向大致一致，且光检测部fe朝向基板2的前表面加侧的方式配置。此外，光检测元件5并不限定于发光二极管阵列，也可为C-MOS影像传感器或CXD影像传感器等。在光检测元件5设置有使向分光部4行进的光Ll入射至基板2及透镜部3的光通过孔12。光通过孔12沿着发光二极管的1维排列方向，与光检测部fe并列设置。光通过孔12为在大致垂直于基板2的长边方向，且大致平行于基板2的前表面加的方向延伸的狭缝，且在相对于光检测部如高精度定位的状态下，通过蚀刻等形成。在基板2的前表面加形成有由Al或Au等的单层膜、或Cr-Pt-Au、Ti_Pt_Au、 Ti-Ni-Au、Cr-Au等的层叠膜的配线13。配线13具有多个垫片部13a、多个垫片部13b、及连接对应的垫片部13a与垫片部13b的多个连接部13c。相对于配线13的在基板2的前表面加侧，形成有由CrO等的单层膜、或Cr-CrO等的层叠膜构成的光反射防止层14。而且，在基板2的前表面加形成CrO等的单层膜、含有CrO等的层叠膜、或由黑色抗蚀膜等构成的光吸收层15。光吸收层15露出配线13的垫片部13a、13b，另一方面，覆盖配线13的连接部13c。在光吸收层15设置有使向分光部4行进的光Ll通过的狭缝15b， 及使向光检测元件5的光检测部如行进本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：柴山胜己，能野隆文，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：
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