分光模块制造技术

本发明专利技术提供高可靠性分光模块（１），其具备使从一个面（２ａ）入射的光透过的基板（２）、具有与基板（２）的另一面（２ｂ）相对的入射面（３ａ）且使透过基板（２）入射于入射面（３ａ）的光透过的透镜部（３）、被形成于透镜部（３）且将入射于透镜部（３）的光分光并反射的分光部（４）、检测被分光部（４）反射的光的光检测元件（５）、设置于另一面（２ｂ）与入射面（３ａ）间并相对于基板（２）支撑透镜部（３）的支撑部（８）。根据分光模块（１），由支撑部（８）在基板（２）的另一面（２ｂ）与透镜部（３）的入射面（３ａ）间形成间隙（Ｓ），防止了基板（２）的另一面（２ｂ）与透镜部（３）的入射面（３ａ）接触而产生伤痕，提高了分光模块（１）的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对光进行分光并检测的分光模块。
技术介绍
作为以往的分光模块，众所周知的是例如具备双凸透镜的块状支撑体、并在支撑 体的一个凸面上设置有衍射光栅等的分光部、在支撑体的另一凸面侧设置有光电二极管等 光检测元件的分光模块(参照例如专利文献1)。在这样的分光模块中，从另一凸面侧入射 的光在分光部上被分光，由光检测元件检测已经被分光的光。专利文献1 日本专利特开平4-294223号公报
技术实现思路
然而，对于如上所述的分光模块而言，在相对于支撑体而安装分光部时，大多情况 下由光固化性的光学树脂将分光部的一个面粘结于支撑体的一个凸面上。在此情况下，在 将树脂涂布于支撑体的凸面之后，一边将分光部按压于凸面上一边沿着凸面往复移动以使 树脂剂渗入，从而相对于支撑体高精度地粘结分光部。但是，在如上所述将分光部粘结于支 撑部时，可能存在分光部与支撑体接触而产生伤痕的情况。这样就存在如下问题，即如果伤 痕产生于分光部以及支撑体的光路上，则由于伤痕而导致光散射，使得分光模块的可靠性 降低。在此，本专利技术正是鉴于这样的情况，目的在于提供一种高可靠性的分光模块。为了达到上述目的，本专利技术所涉及的分光模块的特征在于，具备基板，使从一个 面入射的光透过；透镜部，具有与基板的另一面相对的入射面并使透过基板而入射于入射 面的光透过；分光部，被形成于透镜部，将入射于透镜部的光分光并反射；光检测元件，被 配置于基板的一个面侧并检测由分光部反射的光；以及支撑部，以另一面与入射面相分离 的方式相对于基板支撑透镜部。在该分光模块中，在将透镜部安装于基板时，因为由支撑部而在基板的另一面与 透镜部的入射面之间形成有间隙，所以能够防止由于基板的另一面与透镜部的入射面接触 而产生伤痕。此外，因为基板和透镜部被支撑部支撑，使得透镜部的入射面被定位为相对于 基板的另一面具有规定的间隔，因此可以高精度地将透镜部安装于基板，从而可以提高分 光模块的可靠性。在本专利技术所涉及的分光模块中，优选在入射面上设置有相对于分光部而具有规 定的位置关系的第1凹部；支撑部被设置于基板的另一面侧且被嵌合于第1凹部，且相对于 用于将光检测元件定位于基板的基准部而具有规定的位置关系。根据这样的结构，由于支 撑部相对于用于将光检测元件定位于基板的基准部而具有规定的位置关系，所以仅通过使 支撑部嵌合于被设置于透镜部的入射面的第1凹部，就可以将光检测元件定位于透镜部。 此时，由于第1凹部相对于分光部具有规定的位置关系，因此可以容易地进行分光部与光 检测元件的对准。因此，根据该分光模块，可以简便地组装分光模块。3在本专利技术所涉及的分光模块中，优选在另一面上设置有相对于用于将光检测元件 定位于基板的基准部而具有规定的位置关系的第2凹部；且支撑部被设置于透镜部的入射 面侧并被嵌合于第2凹部，且相对于分光部具有规定的位置关系。根据这样的结构，因为支 撑部相对分光部具有规定的位置关系，所以仅通过使支撑部嵌合于被设置于基板的另一面 上的第2凹部，就能够相对于基板定位分光部。此时，由于第2凹部相对于用于将光检测元 件定位于基板的基准部具有规定的位置关系，因此可以容易地进行分光部与光检测元件的 对准。因此，根据该分光模块，可以简便地组装分光模块。在本专利技术所涉及的分光模块中，优选支撑部在与所述分光部的光栅沟槽的延伸方 向大致一致的方向上延伸。根据这样的结构，在相对于基板而定位透镜部时，由于可以在与 光栅沟槽的延伸方向大致垂直的方向上高精度地进行透镜部与光检测元件的对准，因此可 以准确地使由分光部进行了分光的光入射于光检测元件，从而进一步提高分光模块的可靠 性。 根据本专利技术，可以提高分光模块的可靠性。 附图说明图1是本专利技术的实施方式所涉及的分光模块平面图。图2是沿着图1所示的II-II线的截面图。图3是分光模块的概略组装图。图4是表示透镜部的立体图。图5是表示第2实施方式所涉及的分光模块的对应于图3的概略组装图。图6是表示第2实施方式所涉及的分光模块的变形例的对应于图2的截面图。图7是表示第3实施方式所涉及的分光模块的对应于图4的立体图。图8是表示第4实施方式所涉及的分光模块的对应于图3的概略组装图。图9是表示第4实施方式所涉及的透镜部的立体图。图10是表示第5实施方式所涉及的分光模块的对应于图3的概略组装图。图11是表示第5实施方式所涉及的透镜部的立体图。图12是表示第5实施方式所涉及的分光模块的变形例的对应于图3的概略组装 图。符号说明1，21，31，51，61 分光模块；2，22，32，52，62，72 基板；2a, 22a, 32a, 52a, 62a, 72a 前表面(一个面)；2b, 22b, 32b, 52b, 62b, 72b 后表面(另一面)；3，43，53，63 透镜部；4 分光部；5 光检测部；6 :衍射层6a 衍射光栅沟槽；7 反射层；11 布线；12a，12b，12c，12d 对准标记(基准部)；2(；，52(1，62(；，72(1:凹部(第2凹部)；3c，53c，63c 凹部(第 1 凹部)；22c，32c，43c 凸部(支撑部)；S 间隙具体实施例方式以下，参照附图详细说明本专利技术所涉及的分光模块的优选实施方式。其中，在各个 附图中，将相同的符号标注于相同或者相当的部分，省略重复的说明。(第1实施方式)如图1以及图2所示，分光模块1具备使从前表面(一个面)2a入射的光Ll透过 的基板2、使透过基板2而从入射面3a入射的光Ll透过的透镜部3、将入射于透镜部3的 光Ll分光并反射的分光部4、检测由分光部4反射的光L2的光检测元件5。分光模块1为 利用分光部4将光Ll分光为多个光L2，通过利用光检测元件5检测该光L2，从而测定光Ll 的波长分布和特定波长成分的强度等的微型分光模块。基板2由BK7和Pyrex (登录商标，派热克斯玻璃)以及石英等光透过性玻璃、塑 料等而被形成为长方形板状(例如全长为15 20mm、宽为11 12mm、厚度为1 3mm)。 在基板2的前表面2a上形成有由Al和Au等单层膜、或者Cr-Pt-Au、Ti-Pt-Au、Ti-Ni-Au、 Cr-Au等层叠膜构成的布线11。布线11具有被配置于基板2的中央部的多个焊垫部11a、 被配置于基板2的长边方向上的一个端部的多个焊垫部lib、以及连接对应的焊垫部Ila和 焊垫部lib的多个连接部11c。此外，布线11在基板2的前表面2a侧具有由CrO等单层膜 或者Cr-CrO等层叠膜形成的光反射防止层lid。此外，在基板2的前表面2a上，由与布线11相同的结构形成有用于将光检测元件 5定位于基板2的十字状的对准标记(基准部)12a、12b、12c、12d。对准标记12a、12b分别 被形成于基板2的长边方向的两个端部，且被配置于基板2的与长边方向大致垂直的方向 上的中央位置。此外，对准标记12c、12d分别被形成于基板2的与长边方向大致垂直的方 向上的两端部，且被配置于基板2的长边方向的中央位置。如图2以及图3所示，在基板2的后表面(另一面)2b上。设置有2列在与基板 2的长边方向大致垂直的方向上延伸的截面为矩形状(例如宽度为50 500 μ m，深度为 50 200 μ m)的凹部(第2凹部)2c。凹部2c本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分光模块，其特征在于，具备：基板，使从一个面入射的光透过；透镜部，具有与所述基板的另一面相对的入射面，使透过所述基板而从所述入射面入射的光透过；分光部，被形成于所述透镜部，将入射于所述透镜部的光分光并反射；光检测元件，被配置于所述基板的所述一个面侧，检测由所述分光部反射的光；以及支撑部，以所述另一面与所述入射面相分离的方式相对于所述基板支撑所述透镜部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴山胜己，能野隆文，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]