本发明专利技术的线放电加工装置包括：电极丝，其具有多个切割线部，该多个切割线部以相互分开的方式并列设置且分别与被加工物相对；加工用电源，其用于产生脉冲状的加工用电压；多个导电模单元，其与上述多个切割线部电连接，用于向上述多个切割线部与上述被加工物之间施加上述加工用电压；喷嘴，其以使加工液沿着上述多个切割线部并朝向极间的方式自喷出口喷出上述加工液。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种线放电加工装置通过使电极丝在多个导辊间卷绕而使电极丝并列，通过使并列的电极丝与被加工物之间发生放电，从被加工物一次性切出多张板状构件。
技术介绍
在通过线放电加工从柱状的被加工物切片(slice)加工薄板的情况下，使一根电极丝在多个导辊间卷绕而并列，由此形成许多切割线部分，对各切割线部分分别供电，使各切割线部分与被加工物之间同时发生放电，从而提高对被加工物进行上述切片加工的生产率，该方式例如在专利文献1中被提出。在上述那样的结构的放电式钢丝锯中，当加工进行且形成于被加工物的加工槽变深时，加工屑向加工槽外的排出逐渐变得困难，而滞留在加工槽内。若加工屑滞留在加工槽内，则从切割线对加工屑放电的频率变高，由此导致向加工方向的放电减少、加工速度降低。另外，由于槽宽方向的放电增大，加工槽宽度变大，难以缩小切片间距。另外，还容易引起切割线断线，也容易发生切割线断线所引起的加工面的损伤。另外，即使能够在断线点使线贯通而重新进行加工，由于在该线断线部分处去除量大，因此，完成了切片的构件也必须通过磨削加工到断线部分的损伤区域来进行应对，存在产生多余的加工时间和构件的损失这样的问题。因此，通过使用喷嘴向加工部分喷吹加工液，来使加工中产生的加工屑向加工槽外排出，以使加工屑不滞留在极间，该技术例如被专利文献2公开。另外，作为向加工槽供给加工液的技术，例如，还具有专利文献3所公开的技术。专利文献1 日本特开2000-94221号公报专利文献2 日本特开昭M-20485号公报专利文献3 日本特开平5-96461号公报但是，根据专利文献2所公开的技术，随着加工工序的进行并且加工槽变深，存在难以将加工液供给至狭缝的顶端且加工屑的排出能力降低的问题。另外，若为了将加工液供给至加工槽的顶端而增强加工液的喷出压力，加工液压力会局部地作用于切割线，因此存在切割线发生挠曲、加工精度下降这样的问题。另外，由于切割线挠曲，存在被按压于切割线加工面而电极丝变得容易短路这样的问题。另外，专利文献3所公开的技术为向加工槽供给包含磨粒的加工液的技术，不是用来解决加工屑的排出问题的技术。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而做出的，其目的在于得到能够抑制加工精度降低、加工速度降低的。为了解决上述的课题并达成目的，与本专利技术的一个方面相关的线放电加工装置的特征在于，包括电极丝，其具有多个切割线部，该多个切割线部以相互分开的方式并列设置且分别与被加工物相对；加工用电源，其用于产生脉冲状的加工用电压；多个导电模单元，其与上述多个切割线部电连接，用于向上述多个切割线部与上述被加工物之间施加上述加工用电压；喷嘴，其以加工液沿着上述多个切割线部并朝向极间的方式从喷出口喷出上述加工液。根据本专利技术，能够容易地使施加于并列的多个切割线部的加工液压力均等，抑制电极丝的挠曲。并且，能够稳定地向极间供给加工液，因此，能够容易地从与被加工物之间的极间排出加工屑。由此，能够抑制加工精度降低、加工速度降低。附图说明图1是表示实施方式1的线放电加工装置的立体图。图2是表示喷嘴的概略结构的立体图。图3是喷嘴的侧面剖视图。图4是喷嘴的从喷出口侧观察到的主视图。图5是喷嘴的俯视剖视图。图6是切割被加工物的过程中的喷嘴部分的主视剖视图。图7是实施方式2的线放电加工装置所具有的喷嘴的局部放大立体图。图8是图7所示的喷嘴的侧面剖视图。图9是实施方式3的线放电加工装置所具有的喷嘴的局部放大立体图。图10是图9所示的喷嘴的侧面剖视图。图11是实施方式3的变形例的喷嘴的局部放大立体图。图12是图11所示的喷嘴的侧面剖视图。图13是表示实施方式4的喷嘴的构造的说明图。图14是表示实施方式4的线分离部、分离狭缝及线的位置关系的详细说明图。图15是表示实施方式4的加工液排放口的说明图。图16是实施方式1 4的变形例的加工液喷嘴的剖面构造的说明图。图17是实施方式1 4的变形例的加工液喷嘴的剖面构造的说明图。具体实施例方式以下，根据附图详细地说明本专利技术的线放电加工装置的实施方式。另外，本专利技术并不限定于该实施方式。实施方式1以下，说明本专利技术的实施方式的结构及动作。图1是表示实施方式1的线放电加工装置的立体图。在本实施方式1的线放电加工装置中，从绕线管1引出的一根电极丝2 依次在多个导辊3a 3d间多次且相互隔开微小的间隔地卷绕，从而形成多个切割线部加。 艮口，电极丝2具有多个切割线部2a。卷绕该电极丝2而形成的切割线部加的间隔成为被加工物8的加工宽度(厚度)。即，在相对于各切割线部加使加工物8离开规定间隔地相对配置的状态下，向各切割线部加与被加工物8之间施加电压，同时相对于各切割线部加进行被加工物8的切割输送，由此，利用各切割线部加对被加工物8进行放电切割。由此，将被加工物8加工成多个薄板。另外，被加工物8是要将原材料切片成多个薄板的构件，例如有如下材料成为溅射靶材的钨或钼等金属、作为各种构造构件使用的多晶碳化硅等陶瓷、成为半导体器件晶片的单晶硅及/或单晶碳化硅等半导体材料、成为太阳能电池晶片的单晶及多晶硅等太阳能电池材料等。半导体材料也可以利用以硅及碳化硅中的至少一方为主成分的材料形成。另外，在图1的例中，例示了将一根电极丝2卷绕于多个导辊的例子，但并不限于该情况，只要通过使一根电极丝2折回而形成多个切割线部即可，其具体的结构并不特别限定。在本实施方式1中，多个导辊3a 3d在轴线方向上相互平行地分开配置。在最高位置设置导辊3a、3b，在导辊北下方的最低位置设置导辊3c，在导辊3a的下方以与导辊 3c并列的方式设置导辊3d。电极丝2在卷绕规定次数之后，通过线排出辊5排出。在电极丝2中，导辊3a与导辊北之间的部分成为能够与被加工物8相对且对被加工物8进行加工的切割线部2a，如图1所示，以相对于该切割线部加隔有微小间隔的方式相对地配置被加工物8，从而进行放电加工处理。另外，电极丝2的导辊北与导辊3c之间的部分为供给用于进行放电加工的电压(加工用电压)的馈线部2b。从加工电源6经由导电模7A、7B向电极丝2的馈线部2b供给用于进行放电加工的电压(加工用电压)，从而在馈线部2b与被加工物8之间施加电压。加工电源6由能够相互独立地施加电压的多个加工电源单元61构成。导电模7A、7B也分别由相互绝缘的多个导电模单元71、72构成，成为能够独立地向各切割线部加施加电压的结构。这样，能够独立地对并列电极丝施加电压的多个加工电源单元61与线放电加工装置的控制装置(未图示)连接。另外，当然，电压施加极性与以往的线放电加工同样地能够根据需要适当地颠倒。 被加工物8被未图示的位置控制装置控制在与卷绕在导辊3a 3d间的电极丝2隔有微小间隙的位置，因此能够维持适当的放电空隙长度。另外，加工液没有进行图示，但与通常的线放电加工相同，通过喷吹或浸渍向被加工物8与电极丝2之间供给。图2是表示喷嘴80的概略结构的立体图。图3是喷嘴80的侧面剖视图。图4是喷嘴80的从喷出口 82侧观察到的主视图。喷嘴80喷出加工液，向被加工物8与电极丝2 之间供给加工液。在喷嘴80上形成有使切割线部加贯通的贯通孔96。喷嘴80以使切割线部加贯通贯通孔96的状态配置在被加工物8的两侧。喷嘴80包括主体84、喷出口构成板91、排放口构成板92。在本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：三宅英孝，佐藤达志，福岛一彦，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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