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线放电加工装置、线放电加工方法、薄板制造方法及半导体晶片制造方法制造方法及图纸
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文档序号:7569631
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本发明的线放电加工装置包括:电极丝,其具有多个切割线部,该多个切割线部以相互分开的方式并列设置且分别与被加工物相对;加工用电源,其用于产生脉冲状的加工用电压;多个导电模单元,其与上述多个切割线部电连接,用于向上述多个切割线部与上述被加工物之...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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