获得将金属丝（3）在主引导辊（1a～1d）间卷挂多次并同时进行多个切断加工的金属丝放电加工装置，该金属丝放电加工装置抑制切断金属丝部（CL）的振动而能够进行稳定加工。与主引导辊（1a～1d）分开地以引导金属丝（3）并形成抑制了振动的多个切断金属丝部（CL）的方式具备从动式的减振引导辊（7a，7b）或者减振引导件（21a，21b），规定切断金属丝部（CL）相对喷嘴（8a，8b）的位置。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及金属丝放电加工装置以及利用它的切断加工方法以及对半导体结晶进行切断加工而得的半导体晶片的制造方法。
技术介绍
以往，在利用金属丝放电加工从柱状的被加工物通过切断加工制作薄板形状的晶片的情况下，利用多个金属丝进行同时加工，为了提高上述切断加工的生产性，提出了将一根金属丝在多个引导辊间反复卷挂的方式。该方式的金属丝放电加工装置，形成金属丝按恒定间距并列配置的切断金属丝部，使该切断金属丝部接近被加工物，而且，利用供电件对切断金属丝部分别单独地供电，由此在各切断金属丝部与被加工物之间产生放电同时，在多个部位并列地进行切断加工(例如参照专利文献I)。另外，已知有在将一根金属丝在多个引导辊间反复卷挂的金属丝放电加工装置中、设置用于抑制供电件或切断金属丝部的振动的按压棒的构成(例如参照专利文献2)。进而，已知有通过将金属丝放电加工的金属丝推压于供电件、也可抑制金属丝的振动的构成(例如参照专利文献3)。进而，在专利文献4中记载了金属丝切割加工装置的形成有槽的引导辊以及对多个金属丝供电的供电件。在先技术文献专利文献专利文献1:日本特开2000-94221号公报专利文献2:日本特开2010-5735号公报专利文献3:日本特开平5-96421号公报专利文献4:日本实开昭54-17291号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，在专利文献I那样的金属丝放电加工装置中，无法避免因引导辊的形状误差或偏心、轴承的振动、马达的旋转不均等导致的引导辊的振动，该引导辊的振动传递给金属丝，在与被加工物相向的切断金属丝部产生振动。因而，在金属丝与被加工物的距离即放电间隙微小的条件下进行放电加工来制作半导体晶片的情况下，由于切断金属丝部的振动，致使放电间隙发生数微米的变动，由此导致放电变得不稳定，加工精度降低。其结果，存在在形成于被加工物的加工槽的宽度上产生偏差、同时切出的晶片的厚度偏差增大这样的问题。进而，在专利文献2以及专利文献3那样的金属丝放电加工装置中，在抑制金属丝振动的机构中没有设置控 制金属丝间的间隔的机构，在应用于反复卷挂金属丝的放电加工装置的情况下，有时在多个加工中金属丝的间隔会发生变动。另外，抑制金属丝振动的机构有时兼具供电件等传递电信号的功能，在这种情况下需要以导电性材料构成，存在作为向金属丝推压的结构物不一定充分的情形。另外，专利文献4的供电件仅设在被加工物的单侧，供电件的槽也是无法充分抑制金属丝的横向偏移的结构。本专利技术是为了解决上述那样的问题而做出的，其目的在于获得可抑制切断金属丝部的振动、能高精度地进行切断加工的。用于解决课题的手段本专利技术所涉及的金属丝放电加工装置具备:一对引导辊，该一对引导辊隔开间隔地平行配设；一根金属丝，该金属丝在一对引导辊间按恒定的间距分离并被卷挂多次，在引导辊间形成并列金属丝部，随着引导辊的旋转而行进；一对减振引导辊，该一对减振引导辊设在一对引导辊间，与 并列金属丝部从动地接触，形成得到减振的多个切断金属丝部；和多个供电件，该多个供电件分别对多个切断金属丝部进行供电。另外，本专利技术所涉及的金属丝放电加工装置具备:一对引导辊，该一对引导辊隔开间隔地平行配设；一根金属丝，该金属丝在引导辊间按恒定的间距分离并被卷挂多次，在引导辊间形成并列金属丝部，随着引导辊的旋转而行进；一对减振引导件，该一对减振引导件设在一对引导辊间，与并列金属丝部接触，形成得到减振的多个切断金属丝部；和多个供电件，该多个供电件分别对多个切断金属丝部进行供电。专利技术的效果根据本专利技术，可抑制切断金属丝部的振动，即使在微小的放电间隙下也能实现稳定的金属丝放电加工，可提高加工精度。附图说明图1是表示实施方式I中的金属丝放电加工装置的构成的侧视图。图2是表示加工中的金属丝和被加工物的位置关系的剖面图。图3是表示本专利技术所涉及的减振引导辊的结构的剖面图。图4是表示本专利技术所涉及的喷嘴的立体图。图5是表示本专利技术所涉及的喷嘴的结构的剖面图。图6是表示实施方式I中的金属丝放电加工装置的构成的立体图。图7是表示实施方式2中的金属丝放电加工装置的构成的侧视图。图8是表示实施方式3中的金属丝放电加工装置的构成的侧视图。图9是表示实施方式3中的金属丝放电加工装置的构成的侧视图。图10是表示实施方式4中的金属丝放电加工装置的构成的立体图。图11是表示实施方式4中的金属丝放电加工装置的减振引导件的构成的侧视图。具体实施例方式实施方式1.图1是表示本专利技术的实施方式I所涉及的金属丝放电加工装置的主要部分的构成的侧视图。主引导辊Ia Id是构成金属丝行进系统的主要的引导辊，在该金属丝放电加工装置中，相同直径的四个主引导辊相互平行地隔开间隔配置。从金属丝绕架2输出的一根金属丝3，依次跨在四个主引导辊Ia Id间，按恒定的间距分离并反复卷挂。金属丝3随着主引导辊Ia Id的旋转而行进，最后到达金属丝卷绕绕架4。主引导辊lc，ld设置在隔着被加工物5的位置，通过将金属丝3在两主引导辊间以恒定的张力张拉，构成相互在主引导辊的轴向分离的多个并列金属丝部PS。另外，在本说明书中，并列金属丝部PS是指从主引导辊Ic送出直到被卷挂于主引导辊Id的部分。在上述并列金属丝部PS内，包括与被加工物5相向的部分的被以直线状张拉的区域成为切断金属丝部CL。图1示出了被加工物5的切断开始、切断金属丝部CL在被加工物5的内部行进的状态。与并列金属丝部PS接触地配置的供电件单元6a，6b，是相对切断金属丝部CL单独地供给电压脉冲的电极，在图1中配置两个。另外，在供电件单元6a，6b间的并列金属丝部PS上配置减振引导辊7a，7b，维持金属丝3始终被挂住的状态地对金属丝3进行引导。即，减振引导辊7a，7b，是设在一对主引导辊间与并列金属丝部PS从动地接触的、直径比主引导辊更小的引导辊，形成支承金属丝3并将金属丝3张拉成直线状的多个切断金属丝部CL。如后所述，减振引导辊7a，7b间的切断金属丝部CL抑制了金属丝振动，行进位置成为大体静止状态。进而，在切断金属丝部CL的区域配置喷嘴8a，8b，从面对地配置的喷嘴8a，8b沿着切断金属丝部CL向被加工物5的切断部喷出加工液。切断金属丝部CL在喷嘴8a，8b内贯通，但不与喷嘴内面接触。载架9是载置被加工物5并进行上升、下降的台，从载架9描绘出的箭头表不载架9的上升方向。金属丝3对于主引导辊Ia Id分别卷挂辊外周的一部分(约1/4周)，相对于四个主引导辊Ia Id整体呈围绕形态。主引导辊Ia Id构成从金属丝绕架2到达金属丝卷绕绕架4的路径，构成为确保用于使被加工物5经过切断金属丝部CL而不与其以外的金属丝发生干涉的空间。主引导辊lc，Id为驱动式引导辊，配置在其上方的主引导辊la，Ib为从动式引导辊。驱动式引导辊的轴与马达连接而被旋转驱动，相对于此，从动式引导辊不产生驱动力，随着金属丝行进而旋转。减振引导辊7a，7b是配置成与并列金属丝部PS接触并卷挂金属丝3的从动式的引导辊，随着金属丝3的行进而从动地进行旋转。在图1中，围绕主引导辊Ia Id的轴描绘的箭头表示各主引导辊的旋转方向，沿着金属丝3描绘的箭头表示金属丝3的行进方向。(在后述的图6中，示出了本实施例的金属丝放电加工装置中的金属丝3的立体卷挂状态以及供电件单元6a，6b。)主引导本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：三宅英孝，佐藤达志，福岛一彦，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：
国别省市：
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