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金属丝放电加工装置以及半导体晶片制造方法制造方法及图纸
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文档序号:8982560
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获得将金属丝(3)在主引导辊(1a~1d)间卷挂多次并同时进行多个切断加工的金属丝放电加工装置,该金属丝放电加工装置抑制切断金属丝部(CL)的振动而能够进行稳定加工。与主引导辊(1a~1d)分开地以引导金属丝(3)并形成抑制了振动的多个切断...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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