氯化氢合成炉火焰检测装置制造方法及图纸

技术编号:7399480 阅读:264 留言:0更新日期:2012-06-02 19:03
本实用新型专利技术涉及多晶硅生产工艺中氯化氢合成设备,尤其是氯化氢合成炉火焰检测装置,包括设置于炉体上的呈管状的用作现场观察口的火焰检测口一和火焰检测口二,该两个检测口均水平设置,并且两个检测口之间呈180°夹角,其特征在于:所述合成炉炉体上还设置有与火焰检测口一和火焰检测口二的高度相同的火焰检测口三和火焰检测口四,所述火焰检测口三和火焰检测口四也呈管状,火焰检测口三、火焰检测口四倾斜向上设置,管口朝上,便于在氯化氢合成炉低负荷运行或火焰摆动时都能检测到火焰;本实用新型专利技术应用于氯化氢合成炉,能更准确稳定检测到炉内是否有火焰,为氯化氢合成工序安全联锁的投用奠定了基础,有利于氯化氢合成工序安全稳定的运行。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

氯化氢合成炉火焰检测装置
本技术涉及多晶硅生产工艺中氯化氢合成设备,尤其是氯化氢合成工序的氯化氢合成炉火焰检测装置。
技术介绍
氯化氢合成工序是三氯氢硅合成工序的子工序,而氯化氢合成炉是氯化氢工序的主要设备。氯化氢合成工序采用氢气、氯气在氯化氢合成炉内加压燃烧的方法来制备氯化氢,反应式如下H2 + Cl2 織 >2HCI + 43.B3kcal/moi该反应的发生需要一定的前提条件,即提供一定的能量,在光照或加热的情况下, 二者能迅速反应,并释放出大量的热。目前改良西门子法生产多晶硅的工厂原料三氯氢硅有很大部分是采取外购途径或其它工艺生产,加之改良西门子法工艺的尾气回收技术逐渐成熟,回收氯化氢质量好,量较足,国内众多氯化氢合成工序未运行或低负荷运行补充氯化氢。在氯化氢合成时,氯化氢合成炉在同一高度处有两个火焰检测口,两个火焰检测口呈180°夹角,检测口是水平开孔。但是当氯化氢合成炉在低负荷运行或火焰有摆动时, 火焰检测装置则检测不到火焰。如果当两个火焰检测器同时检测不到火焰时,系统会视为炉内火焰已熄灭,这时氯化氢合成工序联锁保护装置会启动,氯化氢合成工序会紧急停车。目前,因原氯化氢合成炉在同一高度处有两个火焰检测口,处在正对方向上,检测孔是水平开孔,可视角度有限,氯化氢合成炉在低负荷运行或火焰有摆动时原火焰检测装置检测不到火焰(实际火焰没有熄灭),检测到的火焰信号不准确,如果使用安全联锁保护装置,则不准确的火焰信号很容易触动连锁保护紧急停车,从而影响生产运行,所以大多数多晶硅公司氯化氢合成工序的联锁保护装置都没有投用的。而一旦氯化氢合成炉火焰突然熄灭,运行人员又未及时采取紧急停车处理,就可能会发生安全事故。所以传统的火焰检测装置不适合氯化氢合成炉低负荷运行及火焰发生摆动的情况,不能保证氯化氢合成炉安全稳定的运行。
技术实现思路
本技术为解决上述技术问题,提供了新型的氯化氢合成炉火焰检测装置,可以有效检测到火焰信号,检测效果较稳定,使得氯化氢合成炉火焰监测装置在各种不同负荷、火焰摆动等各种不同情况都能稳定检测到氯化氢合成炉的火焰,解决了原氯化氢合成工序联锁不能投用的问题,保证了氯化氢合成工序安全稳定的运行。本技术的技术方案如下氯化氢合成炉火焰检测装置,包括设置于合成炉炉体上的呈管状的用作现场观察口的火焰检测口一和火焰检测口二,火焰检测口一和火焰检测口二均水平设置,火焰检测口一和火焰检测口二之间呈180°夹角,其特征在于所述合成炉炉体上还设置有与火焰检测口一和火焰检测口二的高度相同的火焰检测口三和火焰检测口四,所述火焰检测口三和火焰检测口四也呈管状,火焰检测口三、火焰检测口四倾斜向上设置,管口均朝上,观察方向朝下,便于火焰检测器在氯化氢合成炉低负荷运行时检测炉内火焰,也便于炉内火焰摆动时也能检测到火焰。因为原有的火焰检测口一和火焰检测口二仅在合成炉处于正常运行状况且火焰不摆动的情况才能检测到火焰,所以增加倾斜设置的火焰检测口三和火焰检测口四,当火焰摆动时,也可以便于检测。四个火焰检测口联合使用,使得氯化氢合成炉火焰监测装置在在各种不同负荷、火焰摆动等各种不同情况都能稳定检测到氯化氢合成炉的火焰。所述火焰检测口四的中心轴线与水平面之间夹角均为15°,观察方向向下呈 15°夹角,正好能够满足在低负荷运行时稳定检测到火焰。所述火焰检测口三和火焰检测口四之间呈90°的夹角,呈90°夹角的设计能解决火焰摆动时至少有一个火焰检测口能检测到火焰。所述火焰检测口一、火焰检测口二、火焰检测口三、火焰检测口四的管壁上均配置有吹扫氢管线接口,吹扫氢管线接口从下往上接入,用于对检测孔降温,有利于火焰检测器运行。所述装置采用智能型火焰检测系统,设置有通信模块,具有通讯能力。本技术的有益效果如下本技术的氯化氢合成炉火焰检测装置合成炉低负荷及全负荷运行时都能稳定检测到炉内是否有火焰,为氯化氢合成工序安全联锁的投用奠定了基础,有利于氯化氢合成工序安全稳定的运行。附图说明图1为本技术的火焰检测口三或火焰检测口四的剖面结构示意图图2为本技术的氯化氢合成炉火焰检测口俯视方位示意图其中,附图标记为1火焰检测口一,2火焰检测口二,3火焰检测口三,4火焰检测口四,5吹扫氢管线接口。具体实施方式如图1-2所示,氯化氢合成炉火焰检测装置,包括设置于合成炉炉体上的呈管状的用作现场观察口的火焰检测口一 1和火焰检测口二 2,火焰检测口一 1和火焰检测口二 2 均水平设置,火焰检测口一 1和火焰检测口二 2之间呈180°夹角,所述合成炉炉体上还设置有与火焰检测口一 1和火焰检测口二 2的高度相同的火焰检测口三3和火焰检测口四4, 所述火焰检测口三3和火焰检测口四4也呈管状,火焰检测口三3、火焰检测口四4倾斜向上设置,管口均朝上,观察方向朝下,便于火焰检测器在氯化氢合成炉低负荷运行时检测炉内火焰,也便于炉内火焰摆动时也能检测到火焰。因为原有的火焰检测口一 1和火焰检测口二 2仅在合成炉处于正常运行状况且火焰不摆动的情况才能检测到火焰(实际火焰没有熄灭),所以增加倾斜设置的火焰检测口三 3和火焰检测口四4,当火焰摆动时,也可以便于检测。四个火焰检测口联合使用,使得氯化氢合成炉火焰监测装置在在各种不同负荷、火焰摆动等各种不同情况都能稳定检测到氯化氢合成炉的火焰。所述火焰检测口四4的中心轴线与水平面之间夹角均为15°,观察方向向下呈 15°夹角,正好能够满足在低负荷运行时稳定检测到火焰。所述火焰检测口三3和火焰检测口四4之间呈90°的夹角,呈90°夹角的设计能解决火焰摆动时至少有一个火焰检测口能检测到火焰。如图2所示的视图方向,火焰检测口一 1和火焰检测口三3之间的夹角为30 °,火焰检测口三3与火焰检测口四4之间的夹角为90 °,火焰检测口四4和火焰检测口二 2之间的夹角为60°。所述火焰检测口一 1、火焰检测口二 2、火焰检测口三3、火焰检测口四4的管壁上均配置有吹扫氢管线接口 5,吹扫氢管线接口 5从下往上接入,用于对检测孔降温,有利于火焰检测器运行。所述装置采用智能型火焰检测系统,设置有通信模块,具有通讯能力。权利要求1.氯化氢合成炉火焰检测装置,包括设置于合成炉炉体上的呈管状的用作现场观察口的火焰检测口一(1)和火焰检测口二( 2 ),火焰检测口一(1)和火焰检测口二( 2 )均水平设置,火焰检测口一(1)和火焰检测口二(2)之间呈180°夹角,其特征在于所述合成炉炉体上还设置有与火焰检测口一( 1)和火焰检测口二( 2 )的高度相同的火焰检测口三(3 )和火焰检测口四(4),所述火焰检测口三(3)和火焰检测口四(4)也呈管状;火焰检测口三(3)、 火焰检测口四(4 )倾斜向上设置,管口均朝上。2.根据权利要求1所述的氯化氢合成炉火焰检测装置,其特征在于所述火焰检测口四(4)的中心轴线与水平面之间夹角均为15°。3.根据权利要求1所述的氯化氢合成炉火焰检测装置,其特征在于所述火焰检测口三(3)和火焰检测口四(4)之间呈90°的夹角。4.根据权利要求1所述的氯化氢合成炉火焰检测装置,其特征在于所述火焰检测口一(1)、火焰检测口二(2)、火焰检测口三(3)、火焰检测口四(4)的管壁上均配置有吹扫氢管线接口本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:谌亮刘科范协诚王博雅付斌
申请(专利权)人:天威四川硅业有限责任公司
类型:实用新型
国别省市:

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