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氯化氢合成炉火焰检测装置制造方法及图纸
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文档序号:7399480
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本实用新型涉及多晶硅生产工艺中氯化氢合成设备,尤其是氯化氢合成炉火焰检测装置,包括设置于炉体上的呈管状的用作现场观察口的火焰检测口一和火焰检测口二,该两个检测口均水平设置,并且两个检测口之间呈180°夹角,其特征在于:所述合成炉炉体上还设置...
该专利属于天威四川硅业有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过天威四川硅业有限责任公司授权不得商用。
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