【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在含有催化剂活化物质、高碳浓度环境下以高效率制造高纯度、高比表面积的碳纳米管集合体的制造装置及制造方法。
技术介绍
最近，期待碳纳米管(以下，也称为CNT)向电子设备材料、光学元件材料、导电性材料及生物体关联材料等功能性新原料的展开，并集中精力地进行对其用途、品质及量产性等的研究。在CNT的制造方法中已知有一种化学气相生长法(以下，也称为合成法)(参照非专利文献1、专利文献1、幻。该方法的特征在于，在约500°C 1000°c的高温氛围下使碳化合物等的原料气体与催化剂的催化剂微粒子接触，且该方法能够在使催化剂的种类、配置或原料气体的种类、还原气体、载气、合成炉、反应条件的状态发生各种变化的期间进行CNT 的制造，从而作为适合CNT的大量生产的方法而引起关注。另外，该合成法具备如下优点，S卩，单层碳纳米管(SWCNT)和多层碳纳米管 (MWCNT)都能够制造，而且通过使用载持有催化剂的基材，能够制造与基材面垂直地取向的多个CNT。在CNT中，单层CNT不仅在电特性(极高的电流密度)、热特性(与金刚石相匹敌的热传导度)、光学的特性(光通信带波长区域的发...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.06.17 JP 2009-1447221.一种碳纳米管的制造装置，其具备合成炉、与所述合成炉连通的气体供给管及气体排气管、用于将所述合成炉内加热成规定温度的加热机构、将经由所述气体供给管供给的原料气体向所述合成炉内喷出的气体喷出机构，将经由所述气体供给管供给的原料气体向由所述加热机构加热的所述合成炉的加热区域内供给，从而从在基材上设置的催化剂层表面制造碳纳米管，并从所述气体排气管排出原料气体，所述碳纳米管的制造装置的特征在于，还具备滞留时间调整机构，其使原料气体以大致均勻的量且大致相等的滞留时间与在所述基材上设置的所述催化剂层表面接触。2.—种碳纳米管的制造装置，其特征在于，具备合成炉、与所述合成炉连通的气体供给管及气体排气管、用于将所述合成炉内加热成规定温度的加热机构、将经由所述气体供给管供给的原料气体向所述合成炉内喷出的气体喷出机构、在由所述加热机构加热的加热区域内配设的气体喷出机构，还具备将从所述气体供给管供给的原料气体向多个方向分配的气体流形成机构、对由所述加热机构加热的原料气体的滞留时间进行调整的滞留时间调整机构、对原料气体的碳重量流量进行调整的碳重量流量调整机构，将原料气体向由所述加热机构加热后的所述合成炉的所述加热区域内供给，从而由设置于基材的催化剂制造碳纳米管，并从所述气体排气管排出原料气体。3.根据权利要求1或2所述的碳纳米管的制造装置，其特征在于， 所述滞留时间调整机构具备紊流抑制机构。4.根据权利要求1至3中任一项所述的碳纳米管的制造装置，其特征在于， 所述滞留时间调整机构对在加热区域内被加热的原料气体的加热体积进行调整。5.根据权利要求1至4中任一项所述的碳纳米管的制造装置，其特征在于， 所述加热体积的调整使加热体积增大。6.根据权利要求1至5中任一项所述的碳纳米管的制造装置，其特征在于， 所述气体流形成机构形成相对于基材平面大致平行方向的原料气体流。7.根据权利要求1至6中任一项所述的碳纳米管的制造装置，其特征在于， 所述气体喷出机构形成相对于基材平面大致垂直方向的原料气体流。8.根据权利要求1至7中任一项所述的碳纳米管的制造装置，其特征在于， 所述滞留时间调整机构设置成与气体流形成机构相连通。9.根据权利要求1至8中任一项所述的碳纳米管的制造装置，其特征在于，在基材上设置的催化剂层表面与气体喷出机构的距离具有40mm以上，所述气体喷...
【专利技术属性】
技术研发人员：畠贤治，保田谕，D·N·弗塔巴，汤村守雄，
申请(专利权)人：独立行政法人产业技术综合研究所，
类型：发明
国别省市：
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