压电装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种压电装置及其制造方法，以提供水晶侧面电极和基板侧面电极不断线而可靠地进行电连接的压电装置及其方法为目的。压电装置(100)具备：具有压电振动片(21)和外框(25)且形成有第1侧槽(204)的压电框架(20)；通过粘接剂(13)与外框接合且形成有第2侧槽(124)的基板部(12)；以及盖部(11)。压电框架具有第2引出电极和形成在第1侧槽上的第1侧面电极。基板部具有形成在第2侧槽上的第2侧面电极和外部电极。在第1及第2侧槽上形成有电连接第1侧面电极或第1引出电极和第2侧面电极的一对连接电极(14)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在空腔内设置具有厚度滑动震动模式的AT切割型压电振动片或具有一对振动臂的音叉型压电振动片的。
技术介绍
在压电振子或SAW过滤器等的压电装置主要使用表面实装型(SMD:SurfaCe Mounted Device)类型的包装件。就包装件而言，提案有通过蚀刻而形成的使用水晶等的压电材料的水晶包装件或者使用玻璃的玻璃包装件。例如，在专利文献1 (W02007/023685号公报)中公开的压电装置在压电元件(水晶框架)和基板基体(基板部)的四角上形成侧槽，以便能够在晶片状态下进行制造。并且在侧槽上形成有作为电极的金属膜。由此，通过形成在侧槽上的金属膜电连接实装端子部(外部电极)和从励振电极引出的引出电极。但是，就在专利文献1中公开的压电装置而言，形成在水晶框架的侧槽上的金属膜和形成在基板部的侧槽上的金属膜以其金属膜的厚度进行连接。因此，可能会使水晶框架的金属膜和基板侧的金属膜不能充分地进行连接而产生断线。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供不会使水晶侧面电极和基板侧面电极产生断线而可靠地电连接的。第1观点的压电装置包括具有利用电压的外加而振动的压电振动片、包围压电振动片而与压电振动片一体地形成并包含一主面和另一主面的外框以及形成在外框的外周的缘部的一对第1侧槽的压电框架；具有第1面、其第1面的相反侧的第2面及形成在外周的缘部的一对第2侧槽，并且第1面通过非导电性粘接剂粘接在外框的一主面上的基板部上；以及通过非导电性粘接剂接合在外框的另一主面上并与基板部一起密封压电振动片的盖部。压电框架具有形成在压电振动片的一主面及另一主面上的一对励振电极；从一主面侧的励振电极引出至第1侧槽上的一主面的第1引出电极及从另一主面的励振电极引出至第1侧槽上的另一主面的第2引出电极；与第2引出电极电连接并形成在第1侧槽上的第1侧面电极。基板部具有分别连接在第1侧面电极或第1引出电极上并形成在一对第 2侧槽上的一对第2侧面电极。在第1及第2侧槽上形成有电连接第1侧面电极或第1引出电极和第2侧面电极的一对连接电极。在第2观点的压电装置中，在第1及第2侧槽上形成覆盖连接电极的非导电性粘接剂。在第3观点的压电装置从一主面向另一主面的方向观察，外框的外周及基板部的外周为四角形，第1及第2侧槽形成在四角形的角部。在第4观点的压电装置从一主面向另一主面的方向观察，外框的外周及基板部的外周为四角形，第1及第2侧槽形成在四角形的边上。在第5观点的压电装置中，压电振动片为具有厚度滑动振动模式的压电振动片， 外框的外周及基板部的外周是具有较长的长边和比其长边短的短边的四角形，第1及第2 侧槽沿着短边形成。在第6观点的压电装置中，一对第1侧槽形成在通过压电振动片的中心并与长边平行的中心线的短边方向的两侧，一对第2侧槽形成在通过基板部的中心并与长边平行的中心线的短边方向的两侧。在第7观点的压电装置中，粘接剂包含熔点比基板部及盖部低的低熔点玻璃或聚亚胺树脂。在第8观点的压电装置中，压电振动片为具有厚度滑动振动模式的压电振动片或具有一对振动臂的音叉型压电振动片。第9观点的压电装置的制造方法，具备准备压电晶片的第1准备工序，该压电晶片包含多个压电框架，该压电框架包括具有一主面和另一主面的压电振动片和包围压电振动片的周围且支撑压电振动片的外框，并且在邻接的外框之间形成从一主面贯通至另一主面的至少一对第1贯通孔；形成电极的第1电极形成工序，电极包含形成在一主面和另一主面的一对励振电极、从一对励振电极分别引出至一对第1贯通孔的一对引出电极及形成在第1贯通孔上与引出电极电连接的第1侧面电极，准备第1晶片的第2准备工序，该第1晶片包含多个具有第1面及第1面的相反侧的第2面的基板部，与压电晶片接合时与一对第1 贯通孔一致并在邻接的基板部之间至少形成有贯通基板部的一对第2贯通孔，形成第2侧面电极的第2电极形成工序，该第2侧面电极形成在第2贯通孔上与第1侧面电极电连接， 通过粘接剂在压电晶片的一主面上接合第1晶片的第1面的第1接合工序，在第1接合工序后，在第1及第2侧槽上形成覆盖第1侧面电极及第2侧面电极的连接电极的第3电极形成工序。在第10观点的压电装置的制造方法中，在第2电极形成工序或第3电极形成工序中，在第1晶片的第2面上形成与第2侧面电极电连接的一对外部电极。在第11观点的压电装置的制造方法具备准备第2晶片的第3准备工序，该第2晶片包含多个接合在压电框架的外框上的盖部；以及在第1接合工序及第3电极形成工序后， 通过粘接剂在压电晶片的另一主面上接合第2晶片的第2接合工序，在第2接合工序中，连接电极被粘接剂覆盖，熔融的粘接剂流到第1及第2贯通孔内。本专利技术可以得到水晶侧面电极和基板侧面电极不断线而可靠地进行连接的。附图说明图1是第1水晶振子100的分解立体图。图2 (a)是图1的A-A剖视图。图2(b)、(c)及(d)为表示水晶侧面电极203和基板侧面电极123的断线的图，是图2(a)的被虚线B所包围的部分的放大图。图3是表示第1水晶振子100的制造的流程图。图4是表示第1实施方式的盖部晶片IlW的俯视图。图5是表示第1实施方式的水晶晶片20W的俯视图。图6是表示第1实施方式的基板晶片12W的俯视图。图7是第2实施方式的第2水晶振子200的剖视图，对应于图1的A-A剖面。图8是第3水晶振子300的分解立体图，省略了粘接剂13。图9是第3实施方式的水晶晶片30W的俯视图。图10是作为第3实施方式的变形例的第3水晶振子300’的分解立体图，省略了粘接剂13。图11是第3实施方式的变形例的水晶晶片30W的俯视图。图12是第3实施方式的变形例的基板晶片32W的俯视图。图13是第4水晶振子400的分解立体图，省略了粘接剂13。图14是第4实施方式的第水晶晶片40W的俯视图。图15是第5水晶振子500的分解立体图，省略了粘接剂13。图中11-盖部，IlW-盖部晶片，12、32、32，、42_ 基板部，12W-基板晶片，20、30、30，、 40、50-水晶振动片，20W、30W、40W-水晶晶片，13、13，-粘接剂，14a、14b、:34a、:34b、44a、 44b-连接电极，100、200、300、300，、400、500-水晶振子，122a、122b、322a、322b、322a，、 322b，、422a、422b-外部电极，123a、123b、323a、323b、323a’、323b’、423a、423b_ 基板侧面电极，124a、124b、324a、324b、324a’、324b’、424a、424b-基板侧槽，201a,201b-励振电极， 202a、202b、302a、302b、302a，、302b，、402a、402b、502a、502b-引出电极，203a、203b、303a、 303b、303a，、303b，、403a、403b-水晶侧面电极，204a、204b、304a、304b、304a，、304b，、404a、 404b-水晶侧槽。具体实施例方式(第1实施方式)<第1水晶振子100的整体构成>参照图1及图2对第1水晶振子100的整体构成进行说明。图1是第1水晶振子100的分解立体图。图1省略了后述的连接电极14a、14b及粘接本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种压电装置，其特征在于，包括：具有利用电压的外加而振动的压电振动片、包围所述压电振动片而与所述压电振动片一体地形成并包含一主面和另一主面的外框以及形成在所述外框的外周的缘部的一对第１侧槽的压电框架；具有第１面、其第１面的相反侧的第２面及形成在外周的缘部的一对第２侧槽，并且所述第１面通过非导电性粘接剂粘接在所述外框的所述一主面上的基板部上；以及通过所述非导电性粘接剂接合在所述外框的所述另一主面上并与所述基板部一起密封所述压电振动片的盖部，所述压电框架具有：形成在所述压电振动片的所述一主面及所述另一主面上的一对励振电极；从所述一主面侧的励振电极引出至所述第１侧槽上的所述一主面的第１引出电极及从所述另一主面的励振电极引出至所述所述第１侧槽上的所述另一主面的第２引出电极；与所述第２引出电极电连接并形成在所述第１侧槽上的第１侧面电极，所述基板部具有分别连接在所述第１侧面电极或所述第１引出电极上并形成在所述一对第２侧槽上的一对第２侧面电极，在所述第１及第２侧槽上形成有电连接所述第１侧面电极或第１引出电极和第２侧面电极的一对连接电极。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：水泽周一，高桥岳宽，
申请(专利权)人：日本电波工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP