生产线式涂布系统中的处理台的整合技术方案

一种用于一基板涂布系统的插入设备，该插入设备包括：一插入组件１００，其在一涂布系统内操作，该插入组件包括一处理台，该处理台被适配成接收一涂布工具，用以将一涂层涂覆至一基板；一载体１１０，其用于载运该插入组件１００；第一定位器１３０，其与该载体１１０合作以将该插入组件１００插入该涂布系统的一处理腔室１５０中，及／或将该插入组件１００自该处理腔室１５０缩回；及第二定位器１４０，其用于精准定位该处理腔室１５０内的该插入组件１００。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本申请大体上是关于基板涂布技术的解决方案，其涉及基板及涂层的沉积、图案化及处理中使用的仪器、工艺及材料。其中代表性实例包括(但不限于)涉及以下所述的应用半导体及介电材料及装置、硅基晶片、平板显示器(诸如，TFT)、掩模及过滤器、能量转换及储存(诸如，燃料电池，及电池、光电电池，尤其薄膜太阳能电池)、固态照明(诸如， LED及0LED)、磁性及光学储存、微机电系统(MEMS)及纳米机电系统(NEMS)、微光机电系统及光机电系统(NEMS)、微光装置及光电子装置、透明基板、架构玻璃及汽车用玻璃、用于金属箔及聚合物箔及包装以及微成型及纳米成型的金属化系统。特别是，本申请是关于用于基板涂布系统的插入设备，其包含具有一处理台的一插入组件。另外，本申请亦是关于用以将一插入组件插入一处理腔室中的方法。
技术介绍
通常，在形成涂布系统的部件的处理腔室中，将进行不同处理步骤可能所需的设备安装于该处理腔室的凸缘上、盖上或直接安装至该处理腔室的内部壁上。为了执行那些部件的维护，该腔室通常具备一可拆卸盖，其通常静置于顶部，一般在一腔室开口上。然而， 归因于组件的置放及尺寸，此种系统中的维护是不便且艰巨的任务。因此，当需要维护时， 在此类型的涂布系统中长周期的停工时间是不可避免的。另外，在执行维护之后可能出现关于腔室开口的密封的其它问题。
技术实现思路
鉴于以上所述，本专利技术提供用于一基板涂布系统的插入设备。另外，本专利技术亦提供在一基板涂布系统中插入一插入组件的方法。根据本申请的多个方面，该插入设备包括一插入组件，其在一涂布系统内操作， 该插入组件包括一处理台，其中该处理台被适配成接收用于将一涂层涂覆至一基板的一涂布工具；一载体，其用于载运该插入组件；第一定位器，其与该载体合作以便将该插入组件插入该涂布系统的一处理腔室中及/或将该插入组件自该处理腔室缩回；及第二定位器， 其用于精准定位该处理腔室内的该插入组件。根据本申请的另一方面，提供一种用于一基板涂布系统的插入设备，该插入设备包括一插入组件，其在一涂布系统内操作，该插入组件包括一处理台，其中该处理台被适配成接收用于将一涂层涂覆至一基板的一涂布工具；一载体，其用于载运该插入组件；及一电单元块，其用于将一操作电压提供给该处理台，该电单元块可随该载体一起移动。根据本申请的一额外方面，提供一种用于一基板涂布系统的插入设备，该插入设备包括一插入组件，其在一涂布系统内操作，该插入组件包括一处理台，其中该处理台被适配成接收一涂布工具；一载体，其耦接至该插入组件；第一定位器，其与该载体合作以便执行至少将该插入组件插入一处理腔室中或将该插入组件自该处理腔室缩回；及第二定位器，其被适配成耦接至该插入组件，该第二定位器置放于该处理腔室内。根据本申请的又一方面，提供一种在一基板涂布系统中插入一插入组件的方法， 该方法包括以下步骤将该插入组件布置于一载体上；将一电单元块布置于该基板涂布系统中，以便该电单元块可随该载体一起移动；及通过使该载体位移并藉以使该电单元块位移，将该插入组件定位至该涂布系统的一处理腔室中。根据本申请的又一方面，提供一种在一基板涂布系统中插入一插入组件的方法， 该方法包括以下步骤将该插入组件布置于一载体上；将该插入组件粗略定位至该涂布系统的一处理腔室中；及对该处理腔室内的该插入组件进行精准定位。实施例亦是关于用于进行所揭示方法且包括用于执行每一所述方法步骤的设备部件等设备。这些方法步骤可经由硬件组件、通过适当软件编程的计算机、该两者的任何组合或以任何其它方式来执行。此外，实施例亦是关于通过所述设备操作的方法或制造所述设备的方法。其包括用于执行该设备的功能或制造该设备的部件的方法步骤。自所附权利要求书、实施方式及附图中更显而易见的是进一步的方面、细节及优点O附图说明本申请的部分及其它更详细方面如上文所述，并请参阅相关的图。其中图Ia及图Ib是如本文所述插入设备的实施例的侧向横截面示意图，在每一图中该插入组件相对于该涂布系统处于一不同位置。图2至图4是根据本申请的插入设备的实施例的侧向横截面示意图。图fe至图k是根据本申请的插入设备的一实施例，其代表该插入设备的操作序列。图6是根据本申请的插入设备的另一实施例的侧向横截面示意图。图7是一处理设施，其包括多个根据本申请的实施例的插入设备。图8是典型的插入组件的分解图，其包括用于在基板上金属蒸镀的一处理台。具体实施例方式现将详细参考各种实施例，其中一或多个实例被标于诸图中。每一实例是以说明的方式提供且不欲视为本申请的限制。举例而言，图或描述为一实施例的部件的特征结构可使用于其它实施例上，或连同其它实施例一起使用以产生又一实施例。其意图在于使本申请包括这种修改及变化。在以下诸图的描述中，相同组件符号是指相同组件。一般而言，仅描述关于个别实施例的差别。本申请的实施例提供一种用于涂布基板的系统的插入设备，该插入设备具有一插入组件。该插入组件上布置有一处理台。该处理台包括用于将一涂层涂覆至一基板的一涂布工具。通常，该涂布工具可用于蒸镀，尤其用于金属蒸镀(诸如，铝蒸镀)。另外，该插入设备包括用于载运该插入组件的一载体。通常，该载体可用于将该插入组件插入一处理腔室中、自此缩回该插入组件或用于执行两个操作(亦即，插入及缩回)。通常，该插入组件安装于该载体上。在一些实施例中，该插入组件可移动地安装于该载体上。根据本申请的实施例，该插入设备包括第一定位器及第二定位器。该第一定位器可用于对该处理腔室内的插入组件进行粗略定位。详言之，第一定位器与载体合作以将该插入组件插入该腔室内，例如通过相对于该腔室而粗略定位该载体。在一些实施例中，该第二定位器是用于对该涂布系统内的插入组件进行精准定位。另外，根据本申请的插入设备可包括用于将该插入组件耦接至该载体的一连结组件。不同处理工具可配置于一插入组件上，该插入组件可进而容易地被插入该处理腔室中或自该处理腔室提取出来。进而简化该处理腔室中工具的操作及该涂布系统的操作。 另外，由于该系统模块性的增强，使得使用插入组件的涂布系统具有高度灵活性。基于插入组件的使用，处理腔室内插入组件的定位的精密度可能成为涂布系统中的问题。腔室内插入组件的精确定位对于达成基板的均勻涂布(亦即，涂布于该基板上的层的均勻厚度及质量)可能具有重要性。归因于不同问题(诸如，安装于插入组件上的涂布工具的质量)，插入组件的准确定位可能复杂化。详言之，对于一些处理步骤(诸如，基板的金属涂布)而言，待置放于插入组件上的物件(诸如，蒸镀器或电压产生器)的重量大，且使腔室内插入组件的适当置放尤其困难。详言之，在插入组件中使用金属蒸镀器(诸如，铝蒸镀器)可能是困难的。此归因于蒸镀工具通常为大质量。另外，涂布系统中金属蒸镀通常所需的高电流变压器的整合是困难的。目前，基于插入组件中铝涂布的涂布系统可能使用丝网印刷技术得以实施，因为此方法所需的工具相对较轻。然而，与铝蒸镀相比，丝网印刷技术产量较低，由于待用的铝膏而导致成本较高且由于必需多个加热台而需要较多数量的处理步骤。图Ia示出了处于一打开位置上的插入设备的实施例。图Ib示出了处于一闭合位置上的插入设备的实施例。两个图示出了插入设备的横向横截面示意图。在该打开位置， 插入组件置放于处理腔室外。在该闭合位置，置放本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于基板涂布系统的插入设备，包含：插入组件（１００），其在涂布系统内操作，该插入组件包含处理台（１２０），该处理台（１２０）被适配成接收涂布工具，所述涂布工具用于将涂层涂覆至基板；载体（１１０），用于载运该插入组件（１００）；第一定位器（１３０），其与该载体（１１０）合作以便将该插入组件（１００）插入该涂布系统的处理腔室（１５０）中及／或将该插入组件（１００）自该处理腔室（１５０）缩回；及第二定位器（１４０），其用于精准定位该处理腔室（１５０）内的该插入组件（１００）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：E·哈伯科恩，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US