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一种用于一基板涂布系统的插入设备，该插入设备包括：一插入组件１００，其在一涂布系统内操作，该插入组件包括一处理台，该处理台被适配成接收一涂布工具，用以将一涂层涂覆至一基板；一载体１１０，其用于载运该插入组件１００；第一定位器１３０，其与该载...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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