【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及适用于检测有无具有质量的物质、检测物质的质量等的检测传感器、 检测传感器的振子。
技术介绍
以往，存在用于对有爆炸危险性或有害性的气体等的存在或其定量浓度进行检测的传感器。在该传感器中，通过吸附气体中包含的特定种类的分子并检测该吸附的有无或吸附量，来检测气体等是否存在或其浓度。这种传感器设置在对气体等进行处理的设施、设备、装置等中，用于气体泄漏或气体量的控制。并且，近年来正在广泛地进行燃料电池的开发。由于燃料电池使用氢，因此在氢站、使用燃料电池的车辆、装置、设备等中，最好对是否存在氢泄漏进行监视。在这样的用途中也可应用上述传感器。除了上述用途以外，还考虑了通过吸附特定种类的分子来检测其吸附有无或吸附量的传感器对在空气中漂浮的有机分子和气味分子进行检测，由此例如应用于食物新鲜度和成分分析、用于提供/维持舒适空间的环境控制、以及人体等生物体的状态检测等。根据微小的分子质量对在空气中漂浮的有机分子和气味分子等进行检测的传感器元件在包含这些分子的气体中使振子振动，并将分子附着或吸附在振子表面时的振子的质量变化检测为振子的谐振频率变化。作为根据振子的谐振频率...
【技术保护点】
１．一种检测传感器，其特征在于，该检测传感器具有：多个振子，它们为一端被固定的梁状，并且振动特性根据具有质量的物质的附着或吸附而发生变化；驱动部，其使所述振子振动；以及检测部，其通过检测所述振子的振动变化来检测所述物质，多个所述振子的长度相互不同，在将任意的所述振子设为长度Ｌ时，长度Ｌ的所述振子与其他所述振子的长度差ΔＬ被设定为２（ΔＬ／Ｌ）＞１／Ｑ （其中，Ｑ为所述振子的Ｑ值），所述驱动部以与多个所述振子各自的谐振频率对应的频率使所述振子振动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：池原毅，
申请(专利权)人：独立行政法人产业技术综合研究所，
类型：发明
国别省市：JP
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