用于检测流体介质的压力的压力传感器制造技术

本发明专利技术提出一种用于检测流体介质在测量空间中的压力的压力传感器(10)。该压力传感器(10)包括传感器壳体(12)、至少一个用于测量所述介质的压力的第一压力传感器元件(16)以及用于输出指示作用于所述第一压力传感器元件(16)上的压力的信号的控制和/或分析处理电路(22)。所述控制和/或分析处理电路(22)布置在电路载体(18)上或电路载体(18)中，所述电路载体(18)布置在所述传感器壳体(12)内。所述第一压力传感器元件(16)布置在所述电路载体(18)上或所述电路载体(18)中并且借助至少一个第一分隔膜片(26)与所述流体介质分隔。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
由现有技术已知用于检测流体介质、例如气体和液体的压力的不同的设备和方法。所述压力的测量量是在气体和液体中出现的、作用于各方向的、非定向的作用力。为了测量这些压力，存在动态的和静态作用的测量值接收器或传感器元件。动态作用的压力传感器仅仅用于测量在气态或液态介质中的压力振动。这个压力测量可以直接地进行，或者通过膜片变形或通过力传感器进行。尤其为了测量非常高的压力，简单地将电阻置于介质已经足够，因为所有已知的电阻都或多或少明显显示出压力相关性。然而，在此对电阻与温度的同时相关性的抑制以及使电阻的电连接部从压力介质中压力密封的引出变得困难。因此，最广为流行的压力检测方法为了获取信号首先使用薄的膜片作为机械中间级，该机械中间级一侧承受压力并且在所述压力的影响下或多或少地挠曲。所述机械中间级可以在宽的边界内根据厚度和直径匹配于相应的压力范围。低的压力测量范围会导致一些相对较大的膜片具有处于0.1mm至1mm范围内的挠曲。然而，高的压力需要一些更厚的具有小直径的膜片，所述膜片通常仅仅挠曲几微米。这种压力传感器例如由Konrad Reif(编者)：Sensoren im Kraftfahrze本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检测流体介质在测量空间中的压力的压力传感器(10)，包括传感器壳体(12)、至少一个用于测量所述介质的压力的第一压力传感器元件(16)以及用于输出指示作用于所述第一压力传感器元件(16)上的压力的信号的控制和/或分析处理电路(22)，其中，所述控制和/或分析处理电路(22)布置在电路载体(18)上或所述电路载体(18)中，所述电路载体(18)布置在所述传感器壳体(12)内，其特征在于，所述第一压力传感器元件(16)布置在所述电路载体(18)上或所述电路载体(18)中并且借助至少一个第一分隔膜片(26)与所述流体介质分隔。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.01.08 DE 102014200082.31.一种用于检测流体介质在测量空间中的压力的压力传感器(10)，包括传感器壳体(12)、至少一个用于测量所述介质的压力的第一压力传感器元件(16)以及用于输出指示作用于所述第一压力传感器元件(16)上的压力的信号的控制和/或分析处理电路(22)，其中，所述控制和/或分析处理电路(22)布置在电路载体(18)上或所述电路载体(18)中，所述电路载体(18)布置在所述传感器壳体(12)内，其特征在于，所述第一压力传感器元件(16)布置在所述电路载体(18)上或所述电路载体(18)中并且借助至少一个第一分隔膜片(26)与所述流体介质分隔。2.根据前一项权利要求所述的压力传感器(10)，其中，所述第一压力传感器元件(16)与所述第一分隔膜片(26)是有间距的。3.根据以上权利要求中任一项所述的压力传感器(10)，其中，在所述第一压力传感器元件(16)与所述第一分隔膜片(26)之间构造有传递空间(28)，其中，所述传递空间(28)以传递介质填充，所述传递介质适合用于将所述流体介质作用于所述第一分隔膜片(26)上的压力传递到所述第一压力传感器元件(16)上。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·勒克斯，P·帕茨纳，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE