沉积材料的方法技术

本发明专利技术涉及一种沉积靶材料（３）至样品（２）的表面的方法，该方法包括以下步骤：通过用激光束或电子束（７）照射靶表面来生成靶材料粒子的羽焰（９）；放置样品（２）至羽焰附近，以使得靶材料粒子沉积到样品的表面上；绕着垂直于沉积粒子的样品表面的旋转轴线（１）旋转样品；沿着靶表面移动激光束，以使得羽焰相对于旋转轴线沿径向移动；以可变的频率来脉冲调制激光束。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种沉积靶材料至样品表面的方法，该方法包括以下步骤-通过用激光束或电子束照射靶表面来生成靶材料粒子的羽焰(plume)；-放置样品至羽焰附近，以使得靶材料粒子沉积到样品表面。
技术介绍
通过所谓的脉冲激光沉积(PLD)可将靶材料沉积至样品表面。这种PLD技术使人 们能选择非常高质量的材料、用非常薄的涂层来涂覆物体。这种脉冲激光沉积技术通常应 用于研究环境。然而，最好能将FLD技术的优点应用于工业领域。然而困难在于FLO技术仅适合 于小尺寸应用。通过当前的技术，典型的是在约IOmmX IOmm的表面上覆盖均质层。该面积 受限于FLD技术产生的等离子羽焰。该羽焰仅在典型的IOmmX IOmm的小面积内保持均勻。
技术实现思路
本专利技术当前的一个目的就是解决上述问题。该目的通过本专利技术所述的方法来实现，该方法的特征在于-绕着垂直于沉积粒子的样品表面的旋转轴线旋转样品；-沿着靶表面移动激光束，以使得羽焰相对于旋转轴线沿径向移动；-以可变的频率来脉冲调制激光束。通过绕着旋转轴线旋转样品，可使羽焰在样品的环形区域上沉积材料。通过沿靶 表面在径向方向上移动激光束，可覆盖圆盘形样品表本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种沉积靶材料至样品的表面上的方法，所述方法包括以下步骤：－通过用激光束或电子束照射靶表面以生成靶材料粒子的羽焰；－放置所述样品至所述羽焰附近，以使得所述靶材料粒子沉积到所述样品的表面上；其特征在于：－绕着垂直于沉积粒子的所述样品的表面的旋转轴线旋转所述样品；－沿着所述靶表面移动所述激光束，以使得所述羽焰相对于所述旋转轴线沿径向移动；－以可变的频率来脉冲调制所述激光束。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·A·扬森斯，
申请(专利权)人：索尔玛特斯有限责任公司，
类型：发明
国别省市：NL