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本发明涉及一种沉积靶材料（３）至样品（２）的表面的方法，该方法包括以下步骤：通过用激光束或电子束（７）照射靶表面来生成靶材料粒子的羽焰（９）；放置样品（２）至羽焰附近，以使得靶材料粒子沉积到样品的表面上；绕着垂直于沉积粒子的样品表面的旋转轴...
该专利属于索尔玛特斯有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过索尔玛特斯有限责任公司授权不得商用。

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